[发明专利]电源一体型真空泵

说明书

本发明提供一种可以一边确保电源的散热性能，一边防止外部空气侵入到电源的电源一体型真空泵。电源一体型真空泵包括：泵底座(4)；顶板(302)，固定在泵底座(4)上；传热构件(402)，以与泵底座(4)及顶板(302)相接触的方式，设置在泵底座(4)与顶板(302)的固定部上；以及O形密封环(401)，设置在泵底座(4)与顶板(302)的固定部上，对泵底座(4)与顶板(302)之间进行密封。

技术领域

本发明涉及一种电源一体型真空泵。

背景技术

作为用于半导体制造装置等的真空泵，众所周知有利用马达对形成有旋转叶片的转子(rotor)进行旋转驱动，使旋转叶片相对于固定叶片高速旋转，而排出气体的涡轮分子泵(turbo molecular pump)。在这种涡轮分子泵中，众所周知有将泵本体与控制装置形成为一体，利用冷却风扇使泵本体及控制装置冷却的涡轮分子泵(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1所述的涡轮分子泵中，是设为如下构成：通过在泵本体的底座与控制装置的框体之间形成间隙，对所述间隙吹送冷却风，而使控制装置冷却。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利2013-100760号公报。

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，在泵本体与控制装置之间不但连接有电源电缆，而且在控制装置上连接有设置在泵本体侧的温度传感器及制动电阻(brake resistance)的电缆。因此，在泵本体与控制装置之间介在有多条电缆，在控制装置的框体上需要多个用于通入电缆的开口。其结果为，难以形成为防止外界的湿润空气侵入到控制装置的框体内的构成，从而有可能产生因湿润空气侵入而引起的控制装置的故障。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选实施方式的电源一体型真空泵是包括泵转子的泵本体与对泵本体供给电力的泵电源形成为一体的电源一体型真空泵，包括：泵框体，收纳所述泵转子；所述泵电源的电源框体，固定在所述泵框体上；传热构件，以与所述泵框体及所述电源框体相接触的方式，设置在所述泵框体与所述电源框体的固定部上；以及密封构件，设置在所述泵框体与所述电源框体的固定部上，对所述泵框体与所述电源框体之间进行密封。

在更优选的实施方式中，包括对所述泵框体吹送冷却风的冷却风扇。

在更优选的实施方式中，在所述泵框体的被吹送所述冷却风的区域内设置有散热器(heat sink)。

在更优选的实施方式中，所述电源框体包括对设置在所述泵电源内的多个电气零件的至少一部分进行固定，并且与所述传热构件相接触的框体壁部。

在更优选的实施方式中，所述框体壁部包括用于使液体冷媒流通的冷媒通道。

在更优选的实施方式中，所述传热构件的热传导率大于等于所述泵框体的热传导率及大于等于所述电源框体的热传导率。

在更优选的实施方式中，所述传热构件兼作所述密封构件。

[发明的效果]

根据本发明，可以一边确保电源的散热性能，一边防止外部空气侵入电源。

附图说明

图1是表示本实施方式的电源一体型真空泵的概略构成的图。

图2是表示从泵单元侧观察电源的俯视图。

图3是说明电源与泵单元的固定部分的构造的图。

图4是表示第一变形例的图。

图5是表示第二变形例的图。