[发明专利]准分子激光器窗片的更换装置和更换方法

权利要求书

1.准分子激光器窗片的更换装置，其特征在于，包括一端设有开口的更换主腔体，所述更换主腔体的腔壁设有多个用于观测更换主腔体内部的观察窗、用于检测更换主腔体内部气压的气压计、抽真空通道、充气通道、多个指套孔和存放窗片的窗片室，所述抽真空通道和所述充气通道与所述更换主腔体内部相通，所述指套孔密封配有方便在更换主腔体内部更换窗片的操作指套；

所述窗片室包括多个容纳固定腔，所述窗片室的一端设有可拆卸窗片室盖板，实现所述多个容纳固定腔与更换主腔体的外部环境封闭或相通，所述窗片室的另一端设有移动滑块，实现所述多个容纳固定腔交替与更换主腔体的内部环境封闭或相通；

所述窗片室的另一端突出于所述更换主腔体的内腔壁，所述窗片室的位于所述更换主腔体内部的窗体壁上设有贯穿的通气孔，使得每个容纳固定腔与更换主腔体的内部环境相通；

所述观察窗包括主观察窗和侧观察窗，所述主观察窗与所述开口的位置相对，每个观察窗都设有用于密封的观察窗盖板。

2.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，

所述指套孔的个数为四个，且两两相对设置，每个指套孔均设有匹配的指套保护滑块；所述容纳固定腔的个数为两个，所述滑块通过滑动实现对单个容纳固定腔的封闭。

3.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，

所述更换主腔体的内部容量远小于放电腔的内部容量。

4.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，

所述更换装置还包括锁紧装置，使所述开口与准分子激光器的放电腔体的套接密封。

5.一种使用如权利要求1～4任一所述的更换装置更换激光器窗片的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：在激光器上固定更换装置，使更换装置通过开口套接并锁紧在准分子激光器的放电腔体的外部，使待更换激光器窗片伸入至更换主腔体内靠近指套孔的位置；

S2：将清洁的激光器窗片放置于滑块所在的容纳固定腔；

S3：反复3次对更换主腔体内部抽真空并充入惰性气体；

S4：操作指套卸下待更换激光器窗片，放入另一容纳固定腔，移动滑块将其固定，并取出清洁的激光器窗片；

S5：安装清洁的激光器窗片；

S6：对更换装置抽真空，并充入惰性气体；

S7：对放电腔抽真空；

S8：静置一段时间，观察放电腔内气压变化，如气压稳定则从窗片零件所连接的腔体上取下更换装置并对放电腔充入工作气体，如存在漏气现象则重新安装窗片零件和检测步骤，直至放电腔不再漏气。

6.如权利要求5所述的更换激光器窗片的方法，其特征在于，每个指套孔均设有匹配的指套保护滑块；

步骤S3和步骤S4之间还包括步骤S3′：关闭指套保护滑块；

步骤S4和步骤S5之间还包括步骤S4′：开启指套保护滑块。