[发明专利]一种薄膜内应力的测试方法

权利要求书

1.一种薄膜内应力的测试方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)提供一待测薄膜样品；以及

2)以恒定的升温速度升温所述待测薄膜样品至预设温度，获取升温过程中所述待测薄膜样品的最大收缩率，以表征所述待测薄膜样品的内应力。

2.根据权利要求1所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，步骤2)中，提供一闭合容器，并将所述待测薄膜样品置于所述闭合容器中，通过对所述闭合容器进行升温，以使得所述待测薄膜样品以恒定的升温速度升温至所述预设温度。

3.根据权利要求2所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，提供一夹持装置，将所述夹持装置夹持好所述待测薄膜样品相对的两端后置于所述闭合容器中，其中，获取所述待测薄膜样品沿被夹持两端连线方向上的最大收缩率，以表征所述待测薄膜样品的内应力。

4.根据权利要求3所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，所述夹持装置夹持所述待测薄膜样品的夹持力介于0.005N～2N之间。

5.根据权利要求2所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，步骤2)中，还包括步骤：向所述闭合容器内通入保护气体，以防止所述待测薄膜样品被氧化。

6.根据权利要求5所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，所述保护气体包括氮气、氩气、氦气及氢气所构成的群组中的至少一种；且以恒定的通入速度通入所述保护气体，所述通入速度介于10ml/min～100ml/min之间。

7.根据权利要求1所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，步骤2)中，所述待测薄膜样品的所述升温速度介于1℃/min～60℃/min之间。

8.根据权利要求1所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，步骤2)中，所述预设温度介于0℃～600℃之间。

9.根据权利要求1所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，步骤2)中，测试并获取升温过程中所述待测薄膜样品的形变曲线，以得到所述待测薄膜样品的最大收缩率。

10.根据权利要求1所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，步骤1)中，所述待测薄膜样品的表面形状包括长方形，步骤2)中，获取所述待测薄膜样品沿所述长方形的长度方向上的最大收缩率。

11.根据权利要求1～10中任意一项所述的薄膜内应力的测试方法，其特征在于，所述待测薄膜样品选自于聚合物薄膜，所述聚合物薄膜的材料包括聚烯烃、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酯、氟类聚烯烃、聚乙烯、聚丙烯、芳纶、无纺布、聚偏氟乙烯、聚四氟乙烯及聚对苯二甲酸乙二醇酯所构成的群组中的至少一种。