[发明专利]一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置

权利要求书

1.一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，其特征在于，包括：

S1、确定若干个截止阀中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取所述基准阀与各个所述调整阀转换开闭状态所需时间的差值；

S2、启动计时，控制所述基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各所述调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中所述第二时间和所述第一时间的时间差为所述差值；

当所述基准阀为转换用时最长的所述截止阀时，所述S2为：首先控制所述基准阀转换开闭状态，然后控制各所述调整阀在对应的所述第二时间后转换开关状态；

当所述基准阀和所述调整阀均为一个时，所述S1包括：

S101、设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间；

S102、启动计时，在所述第一预设时间截止时，控制所述新通道截止阀打开，在所述第二预设时间截止时，控制所述旧通道截止阀关闭；

S103、获得反应室的压力并将获得的所述压力与预设压力进行比较得到压力波动值，所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构；

若所述压力波动值小于压差阈值，则确定当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间差为所述差值；

若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力大于所述预设压力，则控制所述第一预设时间增加一个延时步长，或所述第二预设时间减少一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102；

若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力小于所述预设压力，则控制所述第一预设时间减少一个延时步长，或所述第二预设时间增加一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，S2之前还包括：对新通道的所述截止阀的上游进行预设泄放时间的泄放。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设泄放时间的范围为1秒至30秒。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一时间的范围为100ms至1000ms。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述延时步长不大于10ms，或所述压差阈值不大于2％。

6.一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，其特征在于，包括：

获取装置，用于获取基准阀与全部调整阀转换开闭状态所需时间的各个差值，其中若干个截止阀中任意一个为基准阀，其余均为调整阀；

控制装置，用于执行权利要求1至5任意一项所述的方法的步骤，与所述获取装置连接，用于接收所述差值；且所述控制装置与所述基准阀和所述调整阀连接，用于在启动计时后控制所述基准阀在第一时间转换开闭状态，并控制各所述调整阀在其对应的第二时间转换开闭状态，所述第二时间与所述第一时间的时间差为所述差值。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述截止阀包括从关闭状态切换为打开状态的新通道截止阀，所述新通道截止阀的上游连接有用于进行预泄放的泄放阀，所述泄放阀与排废系统连接。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述获取装置包括：

时间输入装置，用于设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为所述新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间；

预调装置，控制所述新通道截止阀在所述第一预设时间截止时打开，控制所述旧通道截止阀在所述第二预设时间截止时关闭；并用于时间调节装置调整所述第一预设时间或所述第二预设时间后，控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态；

压差检测装置，用于获取反应室内的压力并与预设压力进行比较得到压力波动值；其中所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构；

存储装置，与所述压差检测装置连接，用于当所述压力波动值小于压差阈值时，记录当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间的差值；

时间调节装置，与所述压差检测装置连接，用于当所述压力波动值大于或等于压差阈值时，根据所述反应室的压力和所述预设压力的大小关系调整所述第一预设时间或所述第二预设时间。