[发明专利]工件研磨方法和工件研磨装置

权利要求书

1.一种工件研磨装置，其将工件压接在旋转的平台的研磨垫上，一边向所述研磨垫供给研磨液一边进行工件表面的研磨，

其特征在于，

该工件研磨装置具备：

人工智能，其进行数据解析；

修整部，其使修整磨具在所述研磨垫的表面上往复移动而按照所需的修整条件对所述研磨垫的表面进行修整；

表面性状计测部，其在与所述研磨垫的表面接触的状态下取得与所述研磨垫的接触图像，从而计测出所述研磨垫的表面性状；

研磨结果计测部，其对利用由所述修整部进行了修整的研磨垫来研磨工件时的工件的研磨结果进行计测；

存储部，其存储通过所述人工智能来学习如下的相关关系而得到的相关数据，其中，所述相关关系是通过所述修整部对所述研磨垫进行修整时的所述修整条件的数据、在该修整后通过所述表面性状计测部计测出的所述研磨垫的表面性状数据、以及在所述修整后对工件进行研磨的情况下的研磨结果数据的相关关系；以及

输入部，其向所述人工智能输入作为目标的研磨结果，

在所述人工智能中安装有学习型算法，该学习型算法进行如下的运算处理：

第1运算处理，根据所述相关数据逆向推断出与作为所述目标的研磨结果相对应的所述研磨垫的表面性状；和

第2运算处理，根据所述逆向推断出的所述研磨垫的表面性状导出对应的所述修整条件。

2.根据权利要求1所述的工件研磨装置，其特征在于，

所述修整部具有多个修整磨具，在所述多个修整磨具上固定有粒度不同的磨粒。

3.根据权利要求1所述的工件研磨装置，其特征在于，

所述表面性状计测部具有：

道威棱镜，其具有接触面、入光面以及观察面，并按照所需的按压力以所述接触面压接在所述研磨垫上；

光源，其向该道威棱镜的所述入光面射入光；以及

受光部，其接收从所述道威棱镜的所述入光面射入，并在所述接触面的与所述研磨垫相接触的接触点处发生漫反射而从所述观察面射出的光。

4.根据权利要求1所述的工件研磨装置，其特征在于，

所述研磨垫的表面性状至少包括所述接触图像中的接触点数。

5.根据权利要求1所述的工件研磨装置，其特征在于，

所述研磨垫的表面性状包括所述接触图像中的接触点数、接触率、接触点间隔以及空间FFT解析结果。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的工件研磨装置，其特征在于，

在所述人工智能中，所述第1运算处理通过第1神经网络逆向推断出所述研磨垫的表面性状，所述第2运算处理通过第2神经网络导出所述修整条件。

7.根据权利要求1至5中的任意一项所述的工件研磨装置，其特征在于，

在所述人工智能中，所述第1运算处理通过神经网络逆向推断出所述研磨垫的表面性状，所述第2运算处理通过模式识别技术导出所述修整条件。