[发明专利]半导体制冷片综合测试设备

权利要求书

1.一种半导体制冷片综合测试设备，包括机架，其特征在于：所述的机架设置有进料装置、分拣装置及控制器，所述的进料装置包括料盘输送带、空盘输送带、待测品输送带、进料搬运机构及视觉测试机构，所述的料盘输送带用于输送多个呈堆叠状并放置半导体制冷片的料盘，该料盘输送带设置有与待测品输送带相对应的上料位及将堆叠的料盘放置于料盘输送带的放盘位，所述的空盘输送带用于输送多个呈堆叠状并空置的料盘，该空盘输送带设置有与料盘输送带的上料位对应的卸盘位及将堆叠的空料盘取出空盘输送带的取盘位，所述的待测品输送带逐个用于输送半导体制冷片，该待测品输送带设置有与料盘输送带的上料位对应的放料位及延伸至分拣机构的测试位，所述的进料搬运机构将位于料盘输送带的上料位的半导体制冷片搬运至待测品输送带的放料位并将位于料盘输送带的上料位的空料盘搬运至空盘输送带的卸盘位，所述的视觉测试机构设置于待测品输送带的侧面并将经过的半导体制冷片进行摄像记录，并将摄像记录传输至控制器进行储存，所述的分拣装置包括电阻测试机构、厚度测试机构、第一分拣搬运机构、第二分拣搬运机构、合格品输送带及不合格品输送带，所述的电阻测试机构包括电阻测试台及电阻测试组件，并将测试数据传输至控制器进行储存及比较，所述的合格品输送带及不合格品输送带平行设置且输送方向相同，所述的厚度测试机构包括位于合格品输送带及不合格品输送带之间的厚度测试台及厚度检测组件，并将测试数据传输至控制器进行储存及比较，所述的不合格品输送带设置有与第一分拣搬运机构相对应的等待位，所述的第一分拣搬运机构将位于待测品输送带的测试位的半导体制冷片搬运至电阻测试台，并将位于电阻测试台的半导体制冷片搬运至不合格品输送带的等待位，该半导体制冷片为经控制器比较后的合格品，则等待第二分拣搬运机构搬运至厚度测试台，该半导体制冷片为经控制器比较后的不合格品，则由不合格品输送带继续传输，所述的第二分拣搬运机构设置有两组同步移动并用于搬运半导体制冷片的搬运组件，为第一搬运组件及第二搬运组件，所述的第一搬运组件与不合格品输送带位置相对应时，第二搬运组件与厚度测试台的位置相对应；所述的第一搬运组件与厚度测试台的位置相对应，第二搬运组件与合格品输送带位置相对应，所述的第一搬运组件将厚度检测后的不合格产品搬运至不合格品输送带，由不合格品输送带继续输送，所述的第二搬运组件将厚度检测后的合格产品搬运至合格品传输带，由合格品输送带继续输送。

2.根据权利要求1所述的半导体制冷片综合测试设备，其特征在于：所述的进料搬运机构、第一分拣搬运机构及第二分拣搬运机构均包括横梁、横梁轨道、横向调节座、横向电机，竖向气缸、竖向调节座、纵梁及吸盘组件，所述的横梁轨道沿横向设置于横梁，所述的横向调节座滑移于横梁，所述的横向电机安装于横梁并驱动设置有与横向调节座螺纹配合的位移丝杆，所述的竖向气缸安装于横向调节座并驱动竖向调节座升降，所述的纵梁沿纵向安装于横向调节座，所述的吸盘组件安装于纵梁下方，所述的进料搬运机构的横梁设置于料盘输送带、空盘输送带及待测品输送带上方，所述的第一分拣搬运机构设置于待测品输送带、电阻测试台及不合格品输送带的侧面，所述的第二分拣搬运机构设置于电阻测试台、不合格品输送带及合格品输送带的侧面，所述的第二分拣搬运机构的竖向调节座与纵梁之间沿横向设置的副横梁，所述的纵梁分别固定设置于副横梁的横向两端，所述的第一搬运组件及第二搬运组件即为吸盘组件，所述的第一搬运组件及第二搬运组件分别安装于两个纵梁上。

3.根据权利要求2所述的半导体制冷片综合测试设备，其特征在于：所述的进料搬运机构的纵梁沿纵向排布有三组以上吸盘组件。

4.根据权利要求1所述的半导体制冷片综合测试设备，其特征在于：所述的料盘输送带包括左分部、右分部及驱动左分部和右分部同步循环转动的进料驱动组件，所述的左分部及右分部之间设置有监测间隙，位于所述的料盘输送带的上料位的监测间隙设置有料盘取完后控制进料驱动组件启动的料盘传感器。

5.根据权利要求1所述的半导体制冷片综合测试设备，其特征在于：所述的空盘输送带设置有驱动其循环转动的空盘驱动组件，所述的空盘输送带侧面设置有在空料盘堆叠至一定高度后启动空盘驱动组件的空盘传感器。