[发明专利]显示屏的衬底结构、柔性显示装置及其制备方法和显示屏有效
申请号: | 201810052912.1 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN108336227B | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 卜凡中;刘如胜;郭瑞;都秉龙;李加伟 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 王乐 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示屏 衬底 结构 柔性 显示装置 及其 制备 方法 | ||
本发明涉及一种显示屏的衬底结构,其包括:刚性衬底;所述刚性衬底具有屏体区、围绕在所述屏体区外的切割区;阻挡圈,用于阻挡激光剥离所产生的纳米颗粒溢出;所述阻挡圈形成在所述切割区上;柔性衬底,覆盖所述刚性衬底以及所述阻挡圈。上述显示屏的衬底结构,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使设备的PM周期延长。本发明还提供了一种显示屏的衬底结构的制备方法、带刚性衬底的显示屏、柔性显示装置及其制备方法。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种显示屏的衬底结构及其制备方法、显示屏、柔性显示装置及其制备方法。
背景技术
有机发光显示以其柔性特性成为研发的焦点。
目前,柔性显示屏一般采用LLO(laser lift-off,激光剥离)工艺,将刚性衬底与柔性衬底分离,从而得到柔性显示屏。
但是,目前LLO过程中,激光能量将柔性衬底表面瞬间烧成纳米颗粒,纳米颗粒从屏体的侧面扩散出来,污染剥离腔室,影响剥离和激光晶化效果。故设备PM(PreventiveMaintenance,定期检修 )周期需小于1周,严重影响设备使用效果及效率。
发明内容
基于此,提供一种新的显示屏的衬底结构。
一种显示屏的衬底结构,包括:
刚性衬底;所述刚性衬底具有屏体区、围绕在所述屏体区外的切割区;
阻挡圈,用于阻挡激光剥离所产生的纳米颗粒溢出;所述阻挡圈形成在所述切割区上;
柔性衬底,覆盖所述刚性衬底以及所述阻挡圈。
上述显示屏的衬底结构,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
在其中一个实施例中,所述阻挡圈的宽度为40μm ~250μm。
在其中一个实施例中,所述阻挡圈的厚度为0.5μm ~10μm。
在其中一个实施例中,所述阻挡圈由SOG形成。
在其中一个实施例中,所述柔性衬底的厚度与所述阻挡圈的厚度的比值为6:10~20:0.5。
本发明还提供了一种显示屏的衬底结构的制备方法。
一种带刚性衬底的显示屏的制备方法,包括如下步骤:
提供刚性衬底;所述刚性衬底具有屏体区、围绕在所述屏体区外的切割区;
在所述刚性衬底的切割区上形成阻挡圈;
在形成有阻挡圈的刚性衬底上形成柔性衬底,以使所述阻挡圈被所述柔性衬底覆盖。
上述显示屏的衬底结构的制备方法,得到的显示屏的衬底结构,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
在其中一个实施例中,所述阻挡圈通过喷墨打印形成。
本发明还提供了一种带刚性衬底的显示屏。
一种带刚性衬底的显示屏,包括本发明所提供的显示屏的衬底结构、形成于屏体区的柔性衬底上的OLED器件、以及形成于OLED器件上的封装结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择