[发明专利]一种新型光伏电池及其制造方法

权利要求书

1.一种新型光伏电池，其特征在于：包括：

碳纳米管层(2)，其沉积在单晶硅衬底(1)的顶部；

二氧化硅隔离层(3)，其热氧化生长在碳纳米管层(2)的表面；

电极柱(5)，对称焊接在二氧化硅隔离层(3)的左右两端；

背电极(4)，包覆在单晶硅衬底(1)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种新型光伏电池，其特征在于：所述单晶硅衬底(1)的表面均匀包覆有透明导电氧化物层，且单晶硅衬底(1)的厚度为5～20μm。

3.根据权利要求1所述的一种新型光伏电池，其特征在于：所述碳纳米管层(2)的内腔均匀排列有碳纳米管，且碳纳米管层(2)的厚度为3～10μm。

4.一种新型光伏电池的制造方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：

S1：取阳极直径8mm，阴极直径14mm的石墨棒，在石墨棒阳极端部钻孔，孔内填充金属混合物和石墨粉末，抽真空后，通入惰性气体，接通电源，放电4～6min后制得单壁碳纳米管；

S2：将单壁碳纳米管溅射到单晶硅衬底(1)上，形成碳纳米管层(2)；

S3：湿法蚀刻单晶硅衬底(1)背部氧化层，在其氧化层上通过电子束蒸发金属作为背电极(4)；

S4：在碳纳米管层(2)上通过热氧化生长二氧化硅，作为二氧化硅隔离层(3)；

S5：将缓冲材料沉积到氧化锌纳米棒上，并焊接在二氧化硅隔离层(3)的左右两端，使之形成电极柱(5)。

5.根据权利要求4所述的一种新型光伏电池的制造方法，其特征在于：所述步骤S1中，金属混合物为金属镍和金属钇的混合物，其中金属镍：金属钇＝1.6:0.6。

6.根据权利要求4所述的一种新型光伏电池的制造方法，其特征在于：所述步骤S1中，惰性气体为氦气、氩气、氮气和氢气中的一种。

7.根据权利要求4所述的一种新型光伏电池的制造方法，其特征在于：所述步骤S1中，在通入惰性气体时，气体压力不低于14000Pa。

8.根据权利要求4所述的一种新型光伏电池的制造方法，其特征在于：所述步骤S1中，接通电源后，电流控制在90～100A，并保持石墨棒两极的电压为30V。

9.根据权利要求4所述的一种新型光伏电池的制造方法，其特征在于：所述步骤S5中，缓冲材料为二氧化钛、硫化铟和硫化锌中的一种。