[发明专利]一种反射镜装置及激光散斑光场生成装置

说明书

一种反射镜装置，所述装置包括承载平台、设置于所述承载平台上的多个振动装置及与所述振动装置对应的多个反射镜，所述振动装置包括固定于所述承载平台的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置的所述自由端，所述振动装置分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜沿其法线方向运动，所述反射镜的法线相互平行。本发明实施例还公开了一种激光散斑光场生成装置。

技术领域

本发明涉及激光散斑测量领域，尤其涉及一种反射镜装置及激光散斑光场生成装置。

背景技术

激光散斑干涉技术具有非接触、高精度和全场等优点，广泛应用于测量领域，尤其是表面测量领域。

目前常用的生成激光散斑光场的方法有两种：一是激光通过毛玻璃形成散斑光场；另一是激光通过液晶空间相位调制器形成散斑光场。采用激光通过毛玻璃的主要缺点是：激光在经过毛玻璃后，散射效率太低，在激光的原来的发射角内通常只有2％甚至更低的总功率。采用激光通过液晶型空间相位调制器的主要缺点是：液晶型空间相位调制器的单元像素形状大小完全一致，进而形成的激光散斑场具有明显周期性的分布，导致同一空间中在不同的位置出现相同散斑图案。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种反射镜装置，用于产生快速变化的随机激光散斑光场。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种反射镜装置，所述装置包括承载平台、设置于所述承载平台上的多个振动装置及与所述振动装置对应的多个反射镜，所述振动装置包括固定于所述承载平台的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置的所述自由端，所述振动装置分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜沿其法线方向运动，所述反射镜的法线相互平行。

其中，至少两个所述反射镜的以下结构条件的至少其中之一不同：排列方向、形状、尺寸、距离。

其中，所述反射镜的形状为多边形，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的任一顶点和中心之间的连线与另一反射镜的任一顶点和中心之间的连线不平行。

其中，所述反射镜的形状为正五边形，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的任一顶点和中心之间的连线与另一反射镜的任一顶点和中心之间的连线之间的夹角不等于72°的整数倍。

其中，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的边缘到另一反射镜的边缘之间的最小距离不相等。

其中，任意两个所述反射镜的尺寸和/或形状不同。

其中，所述振动装置为压电陶瓷。

其中，所述反射镜在所述承载平台上的投影完全覆盖住对应的所述振动装置在所述承载平台上的投影。

一种激光散斑光场生成装置，包括：激光发射器和反射镜装置；其中，所述激光发射器，用于产生入射光；所述反射镜装置，用于反射所述激光发射器发出的所述入射光；所述激光发射器的出光口面向所述反射镜装置。

其中，所述入射光于所述反射镜装置所在位置的光斑尺寸小于或等于所述反射镜装置的尺寸。

本发明实施例提供了一种反射镜装置，所述装置包括承载平台、设置于所述承载平台上的多个振动装置及与所述振动装置对应的多个反射镜，所述振动装置包括固定于所述承载平台的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置的所述自由端，所述反射镜的法线相互平行，通过所述振动装置分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜沿其法线方向运动，对入射光进行反射，实现了快速变化的随机激光散斑光场分布的产生。

附图说明

图1为本发明一实施例中反射镜装置的结构示意图；

图2为本发明一实施例中反射镜装置中单个反射单元结构示意图；