[发明专利]一种洁净室用节能新风系统

说明书

一种洁净室用节能新风系统，包括三条风道，第一条是与回风主通道中的回风气体进行热交换的新风气体，第二条是从回风副通道排出并经第一过滤机组过滤的回风气体，第三条是从回风主通道进入多级过滤机组中净化的回风气体，当回风主通道排出的洁净度较低过滤成本较高或无法净化至需要洁净度时，可直接将回风废气排至气体处理室中。新风系统的设计大大降低了洁净室内的新风需求量，新风机组的能量耗费大大降低。

技术领域

本发明涉及洁净室新风技术领域，具体为一种洁净室用节能新风系统。

背景技术

洁净技术(cleanroom)是适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。洁净室多应用于微电子、生物制药、手术治疗、精密仪器制造等精密且高精密质量要求领域，因此，洁净厂房对空气温、湿度、洁净度要求较高。单向流洁净室虽然可达到较高的洁净度，但是成本较高且单向流的洁净室建造及维修费用较高，乱流洁净室的出现满足了对室内洁净度要求不高部分领域洁净室需求，无论是从洁净室的新风系统建造还是运行过程的资金投入，乱流洁净室的资金投入远远小于单向流洁净室。

但是，乱流洁净室内经常由于前期设计不合理，要想保证洁净室内的新风质量，只能通过增加换气次数、增加新风量等途径，大大增加了洁净室新风系统的运行资金耗费。

为了解决上述技术问题，本发明提出了一种洁净室用节能新风系统，包括三条风道，第一条是与回风主通道中的回风气体进行热交换的新风气体，第二条是从回风副通道排出并经第一过滤机组过滤的回风气体，第三条是从回风主通道进入多级过滤机组中净化的回风气体，当回风主通道排出的洁净度较低过滤成本较高或无法净化至需要洁净度时，可直接将回风废气排至气体处理室中。新风系统的设计大大降低了洁净室内的新风需求量，新风机组的能量耗费大大降低。

发明内容

一种洁净室用节能新风系统，包括：洁净室的顶壁下方、底壁上方分别安装有顶板1、漏风底板2，顶板1的正上方与顶壁之间形成回风副通道31，漏风底板2与底壁之间形成回风主通道32，顶板1四周洁净室的侧壁上设有回风口7且回风口7与回风副通道31连通，洁净室底壁的中央与回风主通道32连通的回风机组4将洁净室底端灰尘含量高的气体透过漏风底板2吸入回风主通道32，新风系统还包括四周用隔热材料包裹的换热室5，换热室5中的换热通道51中设有螺旋换热管511，螺旋换热管511占换热通道51横截面积的1/2～4/5，换热通道51的进口端连接回风机组4的出风口、换热通道51的出口端连接多级过滤机组11且每级过滤机组内部设有洁净度检测装置111，多级过滤机组11的出口端与新风机组6的进风口连接，螺旋换热管511的出口端与新风机组6的进风口连接；回风副通道31及对应的洁净室顶壁的的中央位置开设有连通的出气口8，出气口8与第一过滤机组9的进风口连接，第一过滤机组9的出风口与新风机组6的进风口连接，顶板1的中央镶嵌固定有与新风机组6出风口连接的送风设备10，由送风设备10将经新风机组6处理后的气体送至洁净室；

其中，多级过滤机组11的出口端、与气体处理室12连接，将气体处理不达标的回风气体排放，避免洁净度不达标的气体进入新风机组6中；

再者，输气管内设有控制气体流通的流量阀14。

上述洁净室用节能新风系统中，洁净室内的新风气流由上而下流动，灰尘含量较高的气流会快速降至回风主通道32中，由回风机组4输送到交换室5中的换热通道51中与螺旋换热管511中的新风进行热交换，降低新风机组6处理新风的能量耗费，同时，将回风机组4排出的回风气流经过多级过滤机组11的层层过滤，将洁净度达到使用要求的回风输入到新风机组6中，由新风机组6将新风与回风混合后输入到送风设备10中供洁净室使用；另外，洁净室中灰尘含量较少的回风上升由回风口7进入回风副通道31中，经由出气口8传至第一过滤机组9中进行过滤去尘、除菌处理后传入新风机组6中，将处理后的回风与新风混合后传至送风设备供洁净室使用。