[发明专利]一种控制基板涨缩的方法

权利要求书

1.一种控制基板涨缩的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、获取基板在不同湿度和不同温度情况下的涨缩规律，根据涨缩规律得到第一温度、第一湿度、烘干温度、第二湿度和第二温度；

S2、在基板清洗时使基板在第一温度下达到第一湿度，以使各基板外涨，直到再增加冲洗，发涨使尺寸增加已经不明显的程度；

S3、清洗后进行烘干，在所述的烘干温度下改变基板湿度，使基板达到第二湿度，以使基板内缩到一定程度停止，烘干完成取出，降至第二温度，以使基板基本保持原有形态，即获得所需基板。

2.根据权利要求1所述的控制基板涨缩的方法，其特征在于：涨缩规律得到第一温度位于基板在进行膨胀的温度范围内，涨缩规律得到第一湿度位于基板在进行膨胀的湿度范围内。

3.根据权利要求1所述的控制基板涨缩的方法，其特征在于：涨缩规律得到第二温度位于基板在进行收缩的温度范围内，涨缩规律得到第二湿度位于基板在进行收缩的湿度范围内。