[发明专利]对准标记重现清洗装置及使晶圆上的对准标记重现的方法

权利要求书

1.一种对准标记重现清洗装置，用于使晶圆上的对准标记重现，其特征在于，所述对准标记重现清洗装置包括：

基板，所述基板用于放置所述晶圆；

清洗桶，所述清洗桶架设于所述晶圆的上方，所述清洗桶的外壁与内壁之间形成有环形空间；

第一液管，所述第一液管位于所述环形空间内，所述第一液管的出液口对应于所述晶圆上的对准标记，且所述第一液管的出液口的大小与所述对准标记的大小相适配；

喷嘴，所述喷嘴设于所述清洗桶上，所述喷嘴与所述第一液管的进液口相连通，所述喷嘴用于向所述第一液管内通入刻蚀剂和清洗剂；

真空管道，所述真空管道设于所述清洗桶上，所述真空管道与所述环形空间相连通，所述真空管道的远离所述清洗桶的一端用于连接于真空设备。

2.如权利要求1所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述第一液管的出液口与所述清洗桶的底部相齐平。

3.如权利要求1所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述第一液管的数量与所述对准标记的数量相同。

4.如权利要求1所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述对准标记重现清洗装置还包括：

干燥管道，所述干燥管道设于所述清洗桶上，所述干燥管道与所述环形空间相连通，所述干燥管道用于向所述环形空间内通入干燥剂。

5.如权利要求4所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述干燥剂为氮气。

6.如权利要求4所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述真空管道和所述干燥管道均设于所述清洗桶的顶部。

7.如权利要求1所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述对准标记重现清洗装置还包括：

第二液管，所述第二液管设于所述清洗桶的顶部，所述第二液管连接于所述喷嘴和所述第一液管之间，且所述喷嘴、所述第二液管和所述第一液管之间相连通。

8.如权利要求7所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述喷嘴包括：

第一喷嘴，所述第一喷嘴与所述第二液管相连通，用于向所述第二液管内通入所述刻蚀剂；

第二喷嘴，所述第二喷嘴与所述第二液管相连通，用于向所述第二液管内通入所述清洗剂。

9.如权利要求1所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述基板上设有真空回路，所述晶圆通过真空吸附设于所述基板上。

10.如权利要求1-9中任意一项所述的对准标记重现清洗装置，其特征在于，所述第一液管和所述清洗桶的材质均为聚四氟乙烯。

11.一种使晶圆上的对准标记重现的方法，其特征在于，其利用如权利要求1-10中任意一项所述的对准标记重现清洗装置实现，所述方法包括以下步骤：

S10、将所述晶圆设置在所述基板上；

S20、将所述第一液管的出液口与所述晶圆上的对准标记对准，并使得所述第一液管的出液口贴合于所述对准标记；

S30、通过所述喷嘴向所述第一液管内通入所述刻蚀剂的同时，使所述真空管道与所述真空设备之间相连通；

S40、通过所述喷嘴向所述第一液管内通入所述清洗剂；

S50、断开所述真空管道与所述真空设备之间的连通。

12.一种使晶圆上的对准标记重现的方法，其特征在于，其利用如权利要求4所述的对准标记重现清洗装置实现，所述方法包括以下步骤：

S10′、将所述晶圆设置在所述基板上；

S20′、将所述第一液管的出液口与所述晶圆上的对准标记对准，并使得所述第一液管的出液口贴合于所述对准标记；

S30′、通过所述喷嘴向所述第一液管内通入刻蚀剂的同时，使所述真空管道与所述真空设备之间相连通；

S40′、通过所述喷嘴向所述第一液管内通入清洗剂；

S50′、断开所述真空管道与所述真空设备之间的连通；

S60′、使所述干燥管道和所述环形空间连通，以向所述环形空间内通入干燥剂。