[发明专利]太阳能电池硅片清洗花篮用夹具及其控制方法有效
申请号: | 201810032409.X | 申请日: | 2018-01-12 |
公开(公告)号: | CN108039333B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 吴世钦 | 申请(专利权)人: | 常州市杰洋精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 李明 |
地址: | 213125 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 硅片 清洗 花篮 夹具 及其 控制 方法 | ||
1.一种太阳能电池硅片清洗花篮用夹具,其特征在于,包括横杆(2)和夹爪组件,其中,
所述夹爪组件包括两个平行设置的夹爪(3)和连接在两个所述夹爪(3)的顶部的连接杆(4);
所述横杆(2)为内部中空的方形盒体,所述横杆(2)上设置有两个贯通槽(21),两个所述夹爪(3)分别设置在两个所述贯通槽(21)内,且所述连接杆(4)设置在所述横杆(2)的上部;
还包括压力传感器(5),设置在所述连接杆(4)与所述横杆(2之间,且固定设置在所述横杆(2)的底面上,用于测定所述夹爪(3)夹取的物品的重量;
两个所述夹爪(3)之间设置有加劲肋(6),且所述加劲肋(6)为倒V型;
所述贯通槽(21)的内侧壁与所述夹爪(3)之间为滑动配合。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片清洗花篮用夹具,其特征在于,还包括与所述横杆(2)垂直设置的丝杠组件(7),且所述横杆(2)固定设置在所述丝杠组件(7)的螺母(71)上。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池硅片清洗花篮用夹具,其特征在于,所述丝杠组件(7)还包括保护罩,所述保护罩为方形空腔体,且与所述横杆(2)相接的侧面为开放型。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池硅片清洗花篮用夹具,其特征在于,还包括横向移动装置,用于驱动所述丝杠组件(7)及与所述丝杠组件(7)连接的所述夹具沿所述横杆(2)的长度方向的移动。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池硅片清洗花篮用夹具,其特征在于,所述横向移动装置为齿轮齿条组件,所述保护罩与所述齿轮齿条组件的齿轮固定连接。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池硅片清洗花篮用夹具,其特征在于,还包括控制中心,所述控制中心与所述压力传感器(5)、所述丝杠组件(7)的动力装置、所述齿轮齿条组件连接。
7.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片清洗花篮用夹具的控制方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1,将所述夹爪组件向下移动到太阳能电池硅片清洗花篮所处位置,其中在下移过程中,当所述压力传感器(5)测得的压力值小于所述夹爪组件总重的50%时,停止夹爪组件的移动,并发出警报,否则,继续下一步操作;
步骤2、驱动齿轮齿条组件将所述夹爪组件水平移动至花篮的“L”型卡口(1)内卡住所述花篮;
步骤3、向上移动所述夹爪组件,在移动过程中,当所述压力传感器(5)测得的压力值小于所述太阳能电池硅片清洗花篮与所述夹爪组件总重的90%时,停止夹爪组件的移动,并发出警报,否则,完成夹取操作。
8.根据权利要求7所述的太阳能电池硅片清洗花篮用夹具的控制方法,其特征在于,所述步骤1和所述步骤2中的竖直方向和水平方向的移动距离为预先设定值。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造