[发明专利]一种柔性气体传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性气体传感器，其特征在于：包括气体敏感层、导电网络膜层和柔性衬底；所述导电网络膜层设于柔性衬底上，所述导电网络膜层由具有纳米结构的导电材料形成导电网络，所述导电网络包括连续区和间断区；在所述连续区，导电材料连续接触形成导通的第一导电通道；在所述间断区，导电材料间断设置形成未导通的第二导电通道，未导通的第二导电通道由间断设置的导电材料形成，间断的区域形成网络缺口D；所述气体敏感层覆盖于导电网络膜层上，在导电网络膜层上复合了一层气体敏感层后，网络缺口D得到填补。

2.根据权利要求1所述的柔性气体传感器，其特征在于：所述导电材料为金属、石墨烯、碳纳米管或导电聚合物。

3.根据权利要求1所述的柔性气体传感器，其特征在于：所述气体敏感层由具有纳米结构的半导体材料组成。

4.根据权利要求3所述的柔性气体传感器，其特征在于：所述半导体材料为金属氧化物、金属硫化物或聚合物。

5.根据权利要求1所述的柔性气体传感器，其特征在于：所述柔性衬底由聚对苯二甲酸类塑料、聚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯以及聚二甲基硅氧烷中的任一种材料组成。

6.根据权利要求1所述的柔性气体传感器，其特征在于：所述柔性气体传感器还包括连接电极层，所述连接电极层设于导电网络膜层上。

7.根据权利要求1所述的柔性气体传感器，其特征在于：所述柔性气体传感器还包括电极引线，所述电极引线与连接电极层连接。

8.权利要求1～7任一所述的柔性气体传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：在柔性衬底上制备导电网络膜层；

S2：在所述导电网络膜层上制备气体敏感层；

S3：在所述导电网络膜层的两端制备连接电极层，并在所述连接电极层上连接电极引线以与外部的输出设备相连接，从而获得柔性气体传感器。

9.根据权利要求8所述的柔性气体传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S1为：通过分散涂布、提拉或印刷的方法，将导电材料涂覆于柔性衬底上，制得导电网络膜层；所述步骤S2为：通过热蒸发、磁控溅射或化学气相沉积的方法，结合掩模版，将半导体材料沉积于所述导电网络膜层上，制得气体敏感层。