[发明专利]基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，

具有：

夹具，该夹具的上端部移动来搬运所述基板所述上端部对基板的下表面进行局部保持；

喷出部，与由所述夹具搬运的所述基板的上表面相向地配置，所述喷出部向所述基板喷出处理液,

移载部，具有与所述基板抵接并对所述基板施加水平方向的推动力的抵接部位，所述移载部进行向所述夹具搬入所述基板的动作以及从所述夹具搬出所述基板的动作中的至少一种；

切换部，通过变更所述夹具的所述上端部与所述移载部的所述基板抵接部位之间的相对高度，来在第一状态与第二状态之间进行切换，所述第一状态为，在比所述抵接部位与所述基板抵接的情况下的所述基板的位置更高的位置，所述上端部保持所述基板的状态，所述第二状态为，在比被所述上端部保持的情况下的所述基板的位置更高的位置，所述抵接部位与所述基板抵接的状态；以及，

浮起部，在所述第一状态和所述第二状态下，分别从所述基板的下方向所述基板提供浮力来使该基板浮起，从而将所述基板控制为水平姿势，

所述浮起部具有：

位置控制载物台，所述位置控制载物台的上表面与由所述夹具搬运的所述基板的下表面相向，所述位置控制载物台控制所述基板的铅垂方向位置，

转接载物台，配置在所述位置控制载物台与所述移载部之间，所述转接载物台的上表面与由所述夹具搬运的所述基板的下表面相向，

浮力产生机构，通过使气体在所述位置控制载物台的上表面与所述基板的下表面之间、所述转接载物台的上表面与所述基板的下表面之间流通，来向所述基板提供浮力，以及，

升降机构，使所述转接载物台进行升降；

在所述第一状态下，所述升降机构以使所述转接载物台的上表面与所述位置控制载物台的上表面处于相同的高度的方式，对所述转接载物台进行定位，

在所述第二状态下，所述升降机构以使所述转接载物台的上表面比所述位置控制载物台的上表面更高的方式，对所述转接载物台进行定位。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述移载部将由所述夹具搬运的所述基板从所述夹具搬出。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述切换部通过使所述抵接部位进行升降，来切换所述第一状态和所述第二状态。

4.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述切换部通过使所述上端部进行升降，来切换所述第一状态和所述第二状态。

5.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述移载部具有辊构件，所述辊构件一边与所述基板的下表面抵接一边旋转，向所述基板赋予所述推动力。