[发明专利]一种用于气体检测的真空电离非连续性进样方法有效
申请号: | 201810027278.6 | 申请日: | 2018-01-11 |
公开(公告)号: | CN108198743B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 余泉;王晓浩;李曼;倪凯;钱翔 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26;G01N27/68 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 王震宇 |
地址: | 518055 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 气体 检测 真空 电离 连续性 方法 | ||
1.一种用于气体检测的真空电离非连续性进样方法,其特征在于,使用真空电离非连续性进样装置进行气体样品的非连续性进样,所述真空电离非连续性进样装置包括进气管、设置在所述进气管上的脉冲阀、质谱仪腔体、与所述质谱仪腔体相连的真空泵、以及位于所述质谱仪腔体内的离子阱与电离源,其中所述离子阱的内部具有可透过电场的非金属套管,并经设置使得离子的出射路径通过所述非金属套管,其中待测样品气体样品进入所述进气管,经过脉冲阀后非连续地进入到所述质谱仪腔体内,在所述离子阱内进行气体样品电离,离子通过所述离子阱内的所述非金属套管出射,延长存留在所述离子阱内的时间;
所述方法包括以下步骤:
1)打开脉冲阀,使待测气体样品通过进气管进入到质谱仪腔体内,所述质谱仪腔体内的气压升高;
2)当脉冲阀打开后,打开电离源,将待测气体样品电离成离子团;
3)关闭所述脉冲阀,所述真空泵的连续工作使所述质谱仪腔体内的气压降低到预设值;
4)关闭电离源,离子阱进入分析扫描模式,将样品离子扫描出离子阱,完成一个周期。
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