[发明专利]一种用于制备石墨烯的生产效率高的气相反应沉积设备

权利要求书

1.一种用于制备石墨烯的生产效率高的气相反应沉积设备，包括炉体(1)、进气管(2)、出气管(3)、炉盖(4)和至少两个支脚(5)，所述进气管(2)设置在炉体(1)的一侧，所述出气管(3)设置在炉体(1)的另一侧，所述进气管(2)和出气管(3)均与炉体(1)连通，所述支脚(5)周向均匀分布在炉体(1)的下方，所述炉盖(4)设置在炉体(1)的上方，所述炉体(1)内设有若干第一红外灯管(32)，所述第一红外灯管(32)周向均匀分布在炉体(1)的内壁上，其特征在于，所述炉盖(4)的竖向截面的形状为U形，所述U形截面的开口的下方设有内热机构，所述炉体(1)内设有沉积机构；

所述沉积机构包括第一电机(6)、转盘(7)、紧固组件和若干沉积组件，所述第一电机(6)固定在炉体(1)内的底部，所述第一电机(6)与转盘(7)传动连接，所述紧固组件设置在转盘(7)的上方，所述沉积组件周向均匀分布在紧固组件的外周；

所述沉积组件包括竖杆(8)、套环(9)和两个基片(10)，所述竖杆(8)的底端固定在转盘(7)上，所述套环(9)套设在竖杆(8)上，两个基片(10)分别设置在竖杆(8)的两侧；

所述紧固组件包括第二电机(11)、驱动轮(12)和若干紧固单元，所述第二电机(11)固定在转盘(7)的上方，所述第二电机(11)与驱动轮(12)传动连接，所述紧固单元周向均匀分布在驱动轮(12)的外周，所述紧固单元与沉积组件一一对应；

所述内热机构包括升降组件、升降块(13)和若干第二红外灯管(14)，所述升降组件与升降块(13)传动连接，所述第二红外灯管(14)周向均匀分布在升降块(13)的外周，所述升降组件包括驱动单元、移动块(15)、固定块(16)、伸缩架(17)、铰接块(18)和两个支杆(19)，所述驱动单元与移动块(15)传动连接，所述固定块(16)固定在炉盖(4)的下方，所述伸缩架(17)的顶端的两侧分别与移动块(15)和固定块(16)铰接，所述伸缩架(17)的底端的两侧分别通过两个支杆(19)与铰接块(18)铰接，所述铰接块(18)固定在升降块(13)的上方。

2.如权利要求1所述的用于制备石墨烯的生产效率高的气相反应沉积设备，其特征在于，所述紧固单元包括第一连杆(20)、第二连杆(21)、移动杆(22)和两个紧固杆(23)，所述第一连杆(20)的一端与驱动轮(12)铰接，所述第一连杆(20)的另一端与第二连杆(21)的一端铰接，所述第二连杆(21)的另一端与移动杆(22)的中心处固定连接，所述紧固杆(23)与基片(10)一一对应，两个紧固杆(23)分别设置在移动杆(22)的靠近基片(10)的一侧。

3.如权利要求1所述的用于制备石墨烯的生产效率高的气相反应沉积设备，其特征在于，所述紧固单元还包括固定环(24)，所述固定环(24)固定在转盘(7)的上方，所述固定环(24)套设在第二连杆(21)上。

4.如权利要求1所述的用于制备石墨烯的生产效率高的气相反应沉积设备，其特征在于，所述驱动单元包括第三电机(25)和第三驱动轴(26)，所述第三电机(25)位于移动块(15)的远离固定块(16)的一侧，所述第三电机(25)固定在炉体(1)的下方，所述第三驱动轴(26)设置在第三电机(25)和固定块(16)之间，所述第三电机(25)与第三驱动轴(26)传动连接，所述移动块(15)套设在第三驱动轴(26)上，所述第三驱动轴(26)的外周设有外螺纹，所述移动块(15)内设有内螺纹，所述移动块(15)内的内螺纹与第三驱动轴(26)上的外螺纹相匹配。

5.如权利要求1所述的用于制备石墨烯的生产效率高的气相反应沉积设备，其特征在于，所述升降块(13)的底端设有距离传感器(27)。

6.如权利要求1所述的用于制备石墨烯的生产效率高的气相反应沉积设备，其特征在于，所述竖杆(8)上设有凸块(28)，所述凸块(28)位于固定环(24)的下方。