[发明专利]一种硅片单面清洗机

说明书

本发明公开了一种硅片单面清洗机，包括箱体、支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头，打开送料门，手动将硅片放置在放料板上，气缸回程，当斜面推头与楔形块接触后，随着气缸回程，4件对称布置的支撑夹紧机构同时工作，弹簧复位推动楔形块沿滑轨向斜面推头移动，从而带动支撑杆移动，进而带动4件对称布置的支撑夹紧机构收缩合拢将硅片夹紧，伺服电机工作，带动与水箱固连的针型喷头移动，向水箱内泵入高压的清洗液，清洗液经针型喷头喷出对硅片进行单面清洗。该装置结构简单，自动将硅片托起、夹紧，硅片夹紧时处于“浮动”状态，使得冲洗均匀，提高清洗效果。

技术领域

本发明涉及一种机械装置，尤其涉及一种硅片单面清洗机。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗，物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法将硅片表面杂质去除，化学清洗主要采用清洗液直接浸泡清洗，实际生产过程中，直接浸泡时硅片往往放置于吊篮内浸入溶液，由于硅片之间相互叠加，导致清洗不均匀，而且硅片与吊篮的接触面积较大，也容易产生冲洗不干净的质量问题。鉴于以上缺陷，实有必要设计一种硅片单面清洗机。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于：提供一种硅片单面清洗机，来解决由于硅片相互叠加导致清洗不均匀的问题。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种硅片单面清洗机，包括箱体、支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头，所述的支架位于箱体内侧底部，所述的支架与箱体通过螺栓相连，所述的气缸位于支架下端，所述的气缸与支架通过螺栓相连，所述的斜面推头位于气缸上端且贯穿支架，所述的斜面推头与气缸螺纹相连，所述的连接杆位于斜面推头上端，所述的连接杆与斜面推头螺纹相连，所述的放料板位于连接杆上端，所述的放料板与连接板螺纹相连，所述的避让槽数量为4件，沿放料板对称布置，所述的支撑夹紧机构数量为4件，沿所述支架对称布置，所述的伺服电机位于箱体顶部左侧，所述的伺服电机与箱体通过螺栓相连，所述的丝杠位于伺服电机右侧且位于箱体顶部，所述的丝杠与伺服电机键相连且与箱体转动相连，所述的丝杠贯穿进给螺母，所述的进给螺母与丝杠螺纹相连，所述的滑座位于进给螺母外侧且位于箱体顶部，所述的滑座与进给螺母通过螺栓相连且与箱体滑动相连，所述的水箱位于滑座下端，所述的水箱与滑座通过螺栓相连，所述的针型喷头位于水箱下端，所述的针型喷头与水箱螺纹相连。

本发明进一步的改进如下：

进一步的，所述的箱体还设有送料门，所述的送料门与箱体铰链相连。

进一步的，所述的箱体还设有废液盒，所述的废液盒位于箱体底部，所述的废液盒与箱体焊接相连，废液盒用于收集清洗后的废液。

进一步的，所述的废液盒还设有排污管，所述的排污管位于废液盒外侧，所述的排污管与废液盒螺纹相连，排污管用于将废液排出。

进一步的，所述的放料板还设有若干定位片，所述的定位片位于放料板侧面，所述的定位片与放料板通过螺栓相连。

进一步的，所述的支撑夹紧机构还包括导套、导杆、楔形块、弹簧、支撑杆、L形护套，所述的导套位于支架上端，所述的导套与支架通过螺栓相连，所述的导杆贯穿导套，所述的导杆可以沿导套左右滑动，所述的楔形块位于导杆外侧且位于支架上端，所述的楔形块与导杆螺纹相连且与支架通过螺栓相连，所述的弹簧位于导杆外侧且位于楔形块和导套之间，所述的支撑杆位于楔形块上端，所述的支撑杆与楔形块焊接相连，所述的L形护套位于支撑杆顶部，所述的L形护套与支撑杆粘接相连，4件对称布置的L形护套组成夹紧定位区域，将硅片精确定位、夹紧。

进一步的，所述的楔形块还设有滑轨，所述的滑轨位于支架上端且贯穿楔形块，所述的滑轨与支架通过螺栓相连，所述的楔形块可以沿滑轨左右滑动。