[发明专利]一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置

说明书

本发明公开了一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，包括：装载区、镀膜区和卸载区；所述装载区、所述镀膜区和所述卸载区均设置在真空腔内；所述装载区和所述卸载区关于所述镀膜区对称设置；在镀膜区采用多个磁控溅射阴极结构，并布置多个真空激光测距仪，与多个溅射阴极相对应，通过真空激光测距仪测出镀膜表面与磁控溅射阴极的距离反馈给溅射阴极，控制溅射功率，从而控制不同位置溅射离子的量，以保证一次镀膜就可以达到膜厚均匀性要求。本发明提供了一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，不仅简化了真空镀膜设备，同时能够自动调节磁控溅射功率，保证带有曲率的玻璃表面镀膜厚度的均匀性。

技术领域

本发明涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，更具体的说是涉及一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置。

背景技术

真空镀膜技术在现代工业中应用较为广泛，包括电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业。真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，属于物理气相沉积工艺。

目前，汽车风窗玻璃除霜、除雾、融化冰雪通常采用空调吹风或者电热丝加热的方式，速度比较慢，效果不理想。透明导电加热膜是一种半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。采用真空溅射镀膜技术在汽车风窗玻璃表面镀透明导电加热膜，可以使镀膜后的风窗玻璃通过导电加热快速除霜、除雾和融化冰雪，而且不影响车内视野，获得理想的效果。

现有真空镀膜设备，通常需要多个真空室才能实现连续镀膜，设备庞大复杂。对于类似于风窗玻璃这种存在较大曲率的零件，由于零件镀膜表面距离溅射阴极的距离不同，一次镀膜膜厚的均匀性较差。要达到膜厚均匀性，应用现有镀膜技术进行溅射镀膜过程中，就需要反复的多次镀膜，或者遮挡住某些区域进行分次镀膜，以此来提高膜厚的均匀性。这种反复镀膜不仅加大了镀膜的成本，而且费时费力。

因此，如何提供一种不仅小型，而且膜厚均匀性好的汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，不仅简化了真空镀膜设备，同时自动调节磁控溅射功率保证带有曲率的玻璃表面沉积薄膜厚度的均匀性。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，包括：装载区、镀膜区和卸载区；所述装载区、所述镀膜区和所述卸载区均设置在真空腔内；所述装载区和所述卸载区通过所述镀膜区连接。

本发明的技术效果：本发明采用单一真空室，实现连续镀膜，简化了真空镀膜设备。

优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述装载区和所述卸载区关于所述镀膜区对称布置。

本发明的技术效果：本发明将装载区和卸载区关于镀膜区对称设置，使小载车从装载车进入卸载车上，实现了镀膜的自动化。

优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述装载区包括：装载车、小载车、装载区导轨、装载区驱动电机、装载区半轮齿轮、装载区传动丝杆、装载区光电开关和装载区传动齿轮；所述装载区导轨纵向铺设至少设置有2条，且所述装载车在所述装载区导轨上纵向运动；所述小载车装载在所述装载车上；所述装载区导轨之间纵向设置有至少3条所述装载区传动丝杆，所述装载区传动丝杠与所述装载区驱动电机连接；远离所述镀膜区的所述装载区传动丝杠上安装有所述装载区半轮齿轮，靠近所述镀膜区的所述装载区传动丝杠上安装有所述装载区传动齿轮；所述装载区光电开关安装在靠近所述镀膜区的一侧；所述装载区光电开关设置在所述装载区半轮齿轮和所述装载区传动齿轮之间，且靠近所述装载区传动齿轮的一侧。

本发明的技术方案：利用半轮齿轮的传动方式，方便装载车和卸载车的运动，当小载车触发光电开关，通过半轮齿轮转动以及驱动电机的驱动自动将小载车快速送入镀膜区实现镀膜。