[发明专利]一种工作介质供应系统

说明书

本发明公开了一种工作介质供应系统，包括工作介质输入管路、工作介质输出管路，挤压气体输入管路，挤压气体输出管路和储存罐，工作介质输入管路的输出端伸入储存罐液面上方，储存罐顶端分别设置有挤压气体输入口和挤压气体输出口，工作介质输出管路的输入端伸入储存罐底部，挤压气体输入管路上依次设置有第三阀体，第四阀体，第五阀体，第一过滤器和第一压力传感器，挤压气体输入管路的输出端连接挤压气体输入口，挤压气体输出管路的输入端连接挤压气体输出口，挤压气体输出管路上设置有第七阀体；本发明工作介质供应系统实现工作介质较大流量的稳定输送，可以供应12‑18台机器的同时使用。

技术领域

本发明涉及工作介质供应技术领域，尤其涉及一种工作介质供应系统。

背景技术

在半导体领域，为了输送和储存的方便，有些工作介质以凝固状态存在于钢瓶中，但是需要在气态或液态下使用。这种工作介质的供应方式如下：将装有凝固态工作介质的钢瓶外侧包裹加热管，通过加热管将钢瓶加热到35℃，钢瓶内的凝固态工作介质气化变为气体，在压力传感器的监控下，依次通过过滤器、调压阀，输送到工作管道内。在整个输送过程中，不仅需要对钢瓶进行加热，还需要对压力传感器、过滤器和调压阀进行加热，保证气体的供应通畅。

由于气化后的气体在输送过程中，吸收的热量有限，气化后的气体受温度影响会转化为液相与气相的混合相，混合相流通速度比较慢，输送的流量小，一般只能满足2-3台机器的使用，当需要满足10台机器的使用时，不得不采购更多的同类设备来实现，输送成本高，占用空间大。

发明内容

为了解决以凝固状态存在的工作介质通过加热的模式输送，流量小，无法满足多台机器同时使用的问题，本发明的目的是提供一种工作介质供应系统。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种工作介质供应系统，包括工作介质输入管路、工作介质输出管路，挤压气体输入管路，挤压气体输出管路和储存罐，所述工作介质输入管路的输入端连接钢瓶，所述钢瓶内储存有凝固状态的工作介质，所述钢瓶外侧缠绕有加热管，用于将钢瓶内凝固状态的工作介质转化为非凝固状态，所述工作介质输入管路上设置有第一阀体，用于控制工作介质输入管路的开与关，所述工作介质输入管路的输出端伸入储存罐液面上方，所述储存罐外侧缠绕有加热管，用于将储存罐内半凝固状态的工作介质完全转化为液态，所述储存罐顶端分别设置有挤压气体输入口和挤压气体输出口，所述工作介质输出管路的输入端伸入储存罐底部，所述工作介质输出管路上设置有第二阀体，用于控制工作介质输出管路的开与关，所述工作介质输出管路的输出端连接工作管路，所述挤压气体输入管路的输入端连接挤压气体的罐体，所述挤压气体输入管路上依次设置有第三阀体，第四阀体，第五阀体，第一过滤器和第一压力传感器，所述挤压气体输入管路的输出端连接挤压气体输入口，所述挤压气体输出管路的输入端连接挤压气体输出口，所述挤压气体输出管路上设置有第七阀体。

钢瓶外侧缠绕的加热管对钢瓶进行加热，使得钢瓶内凝固状态的工作介质转化为固态与液态混合的半凝固状态，通过工作介质输入管路进入储存罐，受重力作用，半凝固状态的工作介质沉于储存罐底部，储存罐外侧缠绕的加热管对储存罐进行加热，使得半凝固态的工作介质完全转化为液态，在无外界压力的作用下，液态工作介质无法进入工作介质输出管路中；挤压气体输入管路内通入挤压气体，挤压气体进入储存罐，将液态工作介质挤压至工作介质输出管路中。

采用上述方案，将凝固态的工作介质分两步进行加热，第一步将凝固状态转化为半凝固状态，输送至储存罐；第二步将半凝固状态完全转化为液态，位于储存罐中的液态工作介质通过挤压气体挤压的方式进入工作介质输出管路中。第一步为速度控制步骤，通过提高第一步的流动速度提高整个系统中工作介质的供应速度。工作介质的供应速度大大提高，可以供应12-18台机器的同时使用。