[发明专利]用于GPP工艺的光刻胶、制备方法及其光刻工艺

权利要求书

1.用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，由按质量百分比计的以下组分制成：

主体树脂20-60％、产酸剂4-30％以及溶剂35-70％；所述主体树脂为环氧树脂；

所述环氧树脂为具有联苯结构的多官能环氧树脂和多官能双酚型环氧树脂中的一种或两种；

所述多官能双酚型环氧树脂的结构式为：

其中，所述X为CH₂或C(CH₃)₂，n为7-20之间的整数；

所述具有联苯结构的多官能环氧树脂的结构式为：

其中，m为1-15之间的整数。

2.根据权利要求1所述的用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，所述环氧树脂为多官能双酚型环氧树脂。

3.根据权利要求1所述的用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，所述环氧树脂的分子量为1000-9000。

4.根据权利要求1所述的用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，n为7-10之间的整数。

5.根据权利要求1所述的用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，m为7-10之间的整数。

6.根据权利要求1-5任一项所述的用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，所述产酸剂为在光照下产生酸的酸生成剂。

7.根据权利要求6所述的用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，所述产酸剂包括硫鎓盐、碘鎓盐、三嗪类、磺酸酯中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，所述溶剂为对主体树脂和产酸剂具有溶解能力并产生均匀溶液的溶剂。

9.根据权利要求8所述的用于GPP工艺的光刻胶，其特征在于，所述溶剂包括乙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、环己酮、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、甲基乙基酮、异丙基醇、乙醇和甲醇中的一种或多种。

10.权利要求1-9任一项所述的用于GPP工艺的光刻胶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将各组分混合溶解后，过滤得到光刻胶。

11.根据权利要求10所述的用于GPP工艺的光刻胶的制备方法，其特征在于，用0.2μm及以下孔径的过滤器进行过滤。

12.采用权利要求1-9任一项所述的用于GPP工艺的光刻胶的光刻方法，其特征在于，包括以下步骤：将所述光刻胶涂于预处理基片衬底，预烘干燥，紫外光曝光后浸泡显影、定影后烘坚膜。

13.根据权利要求12所述的光刻方法，其特征在于，所述浸泡显影的液体为有机溶剂，采用去离子水定影处理。

14.根据权利要求13所述的光刻方法，其特征在于，所述有机溶剂包括丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚和乳酸乙酯的一种或多种。

15.根据权利要求12所述的光刻方法，其特征在于，所述紫外光为g线紫外光或i线紫外光。

16.根据权利要求15所述的光刻方法，其特征在于，所述曝光剂量为60-120mJ/cm²。