[发明专利]一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构

说明书

本发明公开了一种便于更换保养的P5K‑MXP石英护罩机构，包括石英件，所述石英件为环形结构，所述石英件的内侧安装有拆卸环，所述拆卸环的内侧固定安装有保养本体，所述拆卸环的外侧开设有多个限位槽，所述石英件的内侧设有多个滑动槽，多个滑动槽与多个限位槽一一对应，所述限位槽内滑动安装有方形限位柱，所述方形限位柱远离保养本体的一侧延伸至相对应的滑动槽内并开设有调节槽，所述调节槽内滑动安装有转动杆，所述滑动槽的底部内壁上滑动安装有滑板，所述滑板的顶部安装有驱动电机。本发明实用性能高，结构简单，操作方便，便于对方形限位柱进行移动，解除对拆卸环的固定，从而便于对保养本体进行拆卸更换。

技术领域

本发明涉及P5K-MXP石英护罩设备技术领域，尤其涉及一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构。

背景技术

等离子体刻蚀机工艺运行一段时间后，专业术语RF ON TIME一定时间后，腔体内的损耗件石英护罩(专业术语叫shadowring)会因腐蚀，离子体轰击等原因消耗掉一部分，导致不能使用我们需要整体更换。由于工艺工程中被腐蚀消耗掉的面积很小，而且是固定区域。整体更换掉的成本很高。所以研究此改造方案。改造内容：把易腐蚀坏的区域和石英护罩的本体分离出来，单独加工出一个小的石英环，这样就不用更换整个shadlwring，每次PM(设备保养维护)后只需要更换加工的小石英环就可以了。更换方便快捷，这样做能有效降低设备运行成本，提高PM效率。

P5K-MXP腔体内石英件石英护罩在使用一定时间后，环圆片外侧的石英会部分会腐蚀，这样整个石英件只能废掉，成本高，浪费也大，为了降低石英成本的消耗，对P5K腔体石英耗件石英护罩进行自主改造，把易腐蚀部分与整体分离出来，发生腐蚀时只需更换易腐蚀部分，未腐蚀部分清洗后继续使用，能够有效的降低耗件成本，因此我们提出了一种便于更换保养的P5K-MXP+石英护罩机构用于解决上述问题。

发明内容

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种便于更换保养的P5K-MXP+石英护罩机构。

本发明提出的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，包括石英件，所述石英件为环形结构，所述石英件的内侧安装有拆卸环，所述拆卸环的内侧固定安装有保养本体，所述拆卸环的外侧开设有多个限位槽，所述石英件的内侧设有多个滑动槽，多个滑动槽与多个限位槽一一对应，所述限位槽内滑动安装有方形限位柱，所述方形限位柱远离保养本体的一侧延伸至相对应的滑动槽内并开设有调节槽，所述调节槽内滑动安装有转动杆，所述滑动槽的底部内壁上滑动安装有滑板，所述滑板的顶部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上焊接有丝杆，丝杆的外侧螺纹安装有固定板，固定板的底部与相对应的滑动槽的底部内壁相焊接，所述转动杆的一侧延伸至方形限位柱的外侧并与相对应的丝杆相焊接，所述调节槽的底部内壁上开设有卡柱孔，卡柱孔内滑动安装有卡柱，限位槽的底部内壁上设有卡槽，卡槽与卡柱相配合，所述调节槽的一侧内壁上转动安装有绕线轮，所述绕线轮的外侧绕设有拉丝，拉丝的一端延伸至相对应的卡柱孔内并与卡柱的顶部固定连接，拉丝的另一端与相对应的转动杆转动连接，调节槽的底部内壁上还开设有安装槽，安装槽的底部内壁上固定安装有推杆电机，推杆电机的输出轴上焊接有限位杆，转动杆的外侧开设有多个环形滑槽，环形滑槽与限位杆滑动连接。

优选的，所述转动杆靠近保养本体的一侧开设有镶嵌槽，镶嵌槽内转动安装有滚珠，滚珠的一侧延伸至转动杆的外侧并与相对应的拉丝固定连接。

优选的，所述卡柱的顶部焊接有压缩弹簧，压缩弹簧的顶端与相对应的调节槽的顶部内壁相焊接。

优选的，所述滑板上设有滑孔，滑孔内滑动安装有限位滑杆，限位滑杆远离保养本体的一侧与相对应的滑动槽远离保养本体的一侧内壁相焊接。

优选的，所述滑板的顶部螺纹固定有拆卸板，拆卸板的顶部与相对应的驱动电机的底部相焊接。

优选的，所述固定板上设有螺纹孔，丝杆与相对应的螺纹孔螺纹连接。