[发明专利]三维形状测量装置

权利要求书

1.一种三维形状测量装置，

其包括基座和支撑在所述基座上的装置主体，

所述装置主体包括：

光学长度测量装置，其从照射部射出射出激光，在受光部接收在测量对象物上反射的反射激光，通过三角测定方法对所述测量对象物上的反射点的位置进行测量；

转动镜，其在连接于所述光学长度测量装置的支撑部件上被支撑为以镜转动轴为中心能够转动，并朝向所述测量对象物反射所述射出激光，且，朝向所述受光部反射在所述测量对象物上反射的反射激光，所述镜转动轴在所述支撑部件上被布置成从所述照射部分离且在所述照射部射出所述射出激光的射出方向上并且其轴心朝向与所述射出方向大致正交；

镜转动装置，其转动所述镜转动轴，并使所述射出激光进行扫描；

装置主体旋转装置，其使所述装置主体相对于所述基座转动，以使得在所述转动镜上反射的所述射出激光向圆周方向进行扫描，

所述镜转动装置包括驱动部，所述驱动部设置在所述支撑部件的靠向所述光学长度测量装置侧的端部，并通过向所述镜转动轴传递驱动来转动所述镜转动轴。

2.根据权利要求1所述的三维形状测量装置，其中，

所述基座包括第一个移动装置，所述第一个移动装置使所述装置主体相对于所述基座沿所述射出方向移动。

3.根据权利要求1所述的三维形状测量装置，其中，

所述基座包括第二个移动装置，所述第二个移动装置使所述装置主体相对于所述基座沿与所述射出方向的正交方向的一方向移动。

4.根据权利要求2所述的三维形状测量装置，其中，

所述基座包括第二个移动装置，所述第二个移动装置使所述装置主体相对于所述基座沿与所述射出方向的正交方向的一方向移动。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的三维形状测量装置，其中，

所述装置主体使所述射出方向朝向下方，所述支撑部件从所述光学长度测量装置向下方延伸。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的三维形状测量装置，其中，

所述镜转动装置包括转动臂，

所述转动臂连接于所述镜转动轴，并从所述镜转动轴向外径方向延伸，

所述驱动部上下往复转动所述转动臂。

7.根据权利要求5所述的三维形状测量装置，其中，

所述镜转动装置包括转动臂，

所述转动臂连接于所述镜转动轴，并从所述镜转动轴向外径方向延伸，

所述驱动部上下往复转动所述转动臂。

8.根据权利要求6所述的三维形状测量装置，其中，

所述驱动部包括：

偏心凸轮，其被支撑在所述装置主体上，并以凸轮旋转轴为中心能够旋转；

连接臂，其将所述偏心凸轮与所述转动臂连接，并具有第1连接部和第2连接部，所述第1连接部在从所述旋转轴向外径方向分离的位置处与所述偏心凸轮能够相对转动地连接，第2连接部在从所述镜转动轴分离的位置处与所述转动臂连接；

所述第1连接部在从所述转动臂最分离的位置和离所述转动臂最近的位置之间的中间位置处，设定所述转动臂和所述转动镜的位置，以使得在所述转动镜上反射的所述射出激光朝向相对所述射出方向的正交方向。

9.根据权利要求7所述的三维形状测量装置，其中，

所述驱动部包括：

偏心凸轮，其被支撑在所述装置主体上，并以凸轮旋转轴为中心能够旋转；

连接臂，其将所述偏心凸轮与所述转动臂连接，并具有第1连接部和第2连接部，所述第1连接部在从所述旋转轴向外径方向分离的位置处与所述偏心凸轮能够相对转动地连接，第2连接部在从所述镜转动轴分离的位置处与所述转动臂连接；

所述第1连接部在从所述转动臂最分离的位置和离所述转动臂最近的位置之间的中间位置处，设定所述转动臂和所述转动镜的位置，以使得在所述转动镜上反射的所述射出激光朝向相对所述射出方向的正交方向。

10.根据权利要求1所述的三维形状测量装置，其中，

包含所述转动镜的所述支撑部件的大小尺寸形成为，收敛于从所述装置主体的转动中心起半径为25mm的圆内的尺寸。