[发明专利]有机EL显示装置及其制造方法

说明书

有机EL显示装置(100)为具有多个像素的有机EL显示装置，其具有：包括基板和多个有机EL元件(3)的元件基板(1)以及覆盖所述多个像素的薄膜密封结构(10)，其中多个有机EL元件由基板支撑，且分别配置在多个像素的每一个上，薄膜密封结构具有第一无机屏障层(12)、和与第一无机屏障层的上表面或下表面相接的有机屏障层(14)，元件基板还具有规定多个像素的每一个的堤坝层(33)、和配置在多个像素之间的间隙处的多个间隔件(31)，多个间隔件(31)被堤坝层(33)覆盖。

技术领域

本发明涉及一种有机EL显示装置及其制造方法。

背景技术

有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示装置已开始实用化。有机EL显示装置的一个特征例举出：可以获得柔性显示装置。有机EL显示装置具有：针对每个像素至少一个有机EL元件(Organic Light Emitting Diode:OLED，有机发光二极管)和控制向每个OLED供给的电流的至少一个TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)。以下，将有机EL显示装置称为OLED显示装置。如上所述，针对每个OLED，具有TFT等开关元件的OLED显示装置被称为有源矩阵型OLED显示装置。另外，形成TFT和OLED的基板被称为元件基板。

OLED(特别是有机发光层和阴极电极材料)受到水分的影响容易劣化，且容易产生显示不均。作为保护OLED免受水分并且提供不损害柔性的密封结构的技术，开发了薄膜密封(Thin Film Encapsulation，TFE)技术。薄膜密封技术是通过交替地层叠无机屏障层和有机屏障层来获得足够的水蒸气势垒性的薄膜。从OLED显示装置的耐湿可靠性的观点来看，作为薄膜密封结构的WVTR(Water Vapor Transmission Rate：WVTR，水蒸气透过率)，通常要求为1×10^-4g/m²/day以下。

目前市面上出售的OLED显示装置所使用的薄膜密封结构具有厚度约5μm至约20μm的有机屏障层(高分子屏障层)。这样相对较厚的有机屏障层也起到使元件基板的表面平坦化的作用。然而，当有机屏障层厚时，存在OLED显示装置的弯曲性受到限制的问题。

另外，专利文献1和2中记载有具有由不均匀的树脂构成的有机屏障层的薄膜密封结构。专利文献1或2中记载的薄膜密封结构不具有厚的有机屏障层。因此，如果使用专利文献1或2中记载的薄膜密封结构，则认为OLED显示装置的弯曲性得到改善。

专利文献1中公开有如下薄膜密封结构：当从元件基板侧依次形成第一无机材料层(第一无机屏障层)、第一树脂材料和第二无机材料层(第二无机屏障层)时，第一树脂材料不均匀地分布在第一无机材料层的凸部(覆盖凸部的第一无机材料层)的周围。根据专利文献1，通过使第一树脂材料不均匀地分布在可能被第一无机材料层充分覆盖的凸部周围，从而抑制水分和氧气从该部分侵入。另外，第一树脂材料作为第二无机材料层的基底层发挥功能，因此可以适当地形成第二无机材料层，且可以适当地以期望的膜厚涂布第一无机材料层的侧面。第一树脂材料如下而形成。将加热汽化后的雾状有机材料供给到维持在室温以下的温度的元件基板上，并且有机材料在基板上冷凝以形成液滴。液滴状的有机材料由于毛细管现象或表面张力而在基板上移动，并且不均匀地分布在第一无机材料层的凸部的侧面与基板表面之间的边界部。之后，通过使有机材料固化，在边界部形成第一树脂材料。专利文献2也公开了具有同样薄膜密封结构的OLED显示装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2014/196137号

专利文献2：日本专利特开2016-39120号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题