[发明专利]电荷粒子显微镜装置和广角图像生成方法

说明书

本发明在生成的广角图像中残存局部的位置偏差时，也能够促使进行用于修正局部位置偏差的用户输入，并根据该用户输入重新生成在重叠区域的局部区域中位置偏差量也小的广角图像。电荷粒子显微镜维持相邻的拍摄图像重叠的区域即重叠区域并拍摄多张拍摄图像，图像处理部在上述重叠区域中将对应点对设定在上述相邻的拍摄图像之间，对每个上述拍摄图像设定规定的限制条件，根据上述对应点对和上述限制条件计算上述拍摄图像之间的相对位置偏差量，根据计算出的上述位置偏差量修正上述拍摄图像之间的相对位置偏差并连接起来，由此生成一张广角图像，在上述重叠区域中设定的多个局部区域中计算拍摄图像的连接的可靠度，向用户通知上述可靠度低的上述局部区域或包含上述局部区域的重叠区域、上述设定好的对应点对和上述限制条件。

技术领域

本发明涉及电荷粒子显微镜装置和广角图像生成方法。

背景技术

电荷粒子显微镜与光学显微镜相比分辨率非常高，为了清晰地观察被观察对象的细微构造而被广泛利用。在电荷粒子显微镜中，向对象样本照射电荷粒子束，通过检测器检测在对象样本反射、或从对象样本释放、或透过对象样本的粒子(与照射的电荷粒子同种、或其他种类的电荷粒子、或电磁波、光子)，由此取得对象样本的图像。电荷粒子显微镜的观察对象涉及材料、半导体、食品、生物、医疗领域等多方面。

在利用了电荷粒子显微镜的检查、分析中，需要在广范围内确认构造物的整体像、分布，存在希望通过视野广的拍摄图像(以下称为“广角图像”)进行观察的需求。进而，在广角图像中，还要求高画质的图像、即分辨率高、SN比高、相邻的拍摄图像之间的位置偏差量小的图像。但是，由于硬件的制约，在高分辨率的拍摄条件下发出的电荷粒子束的范围窄，因此在拍摄广角的情况下，必须一边使承载了样本的工作台移动，一边拍摄非常多的图像。

在普通的广角图像的生成方法中，首先在维持重叠区域的同时移动拍摄位置而拍摄广角区域，取得多张拍摄图像。接着，计算相邻的拍摄图像之间的对应点对，根据这些对应点对计算拍摄图像之间的相对位置偏差量并连接起来，由此生成广角图像。但是，由于根据计算出的对应点对生成广角图像，因此存在以下的问题：在计算出错误的对应点对的情况下，广角图像中的拍摄图像之间的位置偏差量变大。作为应对该问题的方法，在下述的专利文献1中，记载了以下的方法：在一次性生成的广角图像中，受理变更拍摄图像之间的重叠区域的相对位置的指示，根据所受理的指示重新生成广角图像。

具体地说，在专利文献1中，关于信息处理方法，记载了“上述存储部存储通过对被摄体进行拍摄使得多个拍摄区域相互重叠而得到的多个部分图像、按上述多个部分图像中的相邻的2个部分图像中的每一个计算出的、以及该相邻的2个部分图像的相对位置偏差信息。上述判定部根据上述存储的多个部分图像，判定用于生成作为上述被摄体的图像而显示的区域的图像即显示区域图像的、一个以上的显示用部分图像。在通过上述判定部判定出多个显示用部分图像的情况下，上述生成部根据上述存储的位置偏差信息，将该多个显示用部分图像相互连接起来，生成上述显示区域图像”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-058124号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1记载的方法中，对相邻的拍摄图像之间重叠的重叠区域的整体进行相对位置偏差量的修正，因此能够修正重叠区域整体的位置偏差量，另一方面，存在以下的问题，即难以高精度地修正局部区域的位置偏差量、特别是包含各种图像畸变的局部区域的位置偏差量。

本发明鉴于上述问题，其目的在于：提供一种电荷粒子显微镜装置，其在生成的广角图像中残存局部的位置偏差的情况下，也能够促使进行用于修正局部位置偏差的用户输入，并根据该用户输入，重新生成在重叠区域的局部区域中位置偏差量也小的广角图像。

解决问题的方案