[发明专利]13族元素氮化物层、自立基板以及功能元件

权利要求书

1.一种13族元素氮化物层，其是包含选自氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶中的13族元素氮化物结晶且具有上表面及底面的13族元素氮化物结晶层，其特征在于，

在利用阴极发光观察所述上表面时，具有高亮度发光部和与所述高亮度发光部相邻的低亮度发光区域，

所述上表面的X射线摇摆曲线的(0002)晶面反射的半值宽度为3000秒以下20秒以上。

2.根据权利要求1所述的13族元素氮化物层，其特征在于，在与所述13族元素氮化物结晶层的所述上表面垂直的截面上，没有观察到空洞。

3.根据权利要求1所述的13族元素氮化物层，其特征在于，所述13族元素氮化物结晶层的所述上表面的位错密度为1×10⁶/cm²以下。

4.根据权利要求3所述的13族元素氮化物层，其特征在于，所述13族元素氮化物结晶层的所述上表面的所述位错密度为1×10²/cm²以上1×10⁶/cm²以下。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的13族元素氮化物层，其特征在于，所述高亮度发光部形成连续相，所述低亮度发光区域形成由所述高亮度发光部区划开的不连续相。

6.根据权利要求1～4中的任意一项所述的13族元素氮化物层，其特征在于，所述高亮度发光部包括沿着所述13族元素氮化物结晶的[-2110]、[-12-10]、[11-20]、[2-1-10]、[1-210]、[-1-120]方向延伸的部分。

7.根据权利要求1～4中的任意一项所述的13族元素氮化物层，其特征在于，所述13族元素氮化物为氮化镓系氮化物。

8.一种自立基板，是在操作时不会因自重而变形或破损、可以作为固体物质进行操作的基板，其特征在于，包含权利要求1～7中的任意一项所述的13族元素氮化物层。

9.一种功能元件，其特征在于，具有：权利要求8所述的自立基板、以及在所述13族元素氮化物层上所设置的功能层。

10.根据权利要求9所述的功能元件，其特征在于，所述功能层的功能为发光功能、整流功能或电力控制功能。

11.一种复合基板，其特征在于，具备：支撑基板、以及在所述支撑基板上所设置的权利要求1～7中的任意一项所述的13族元素氮化物层。

12.一种功能元件，其特征在于，具有：权利要求11所述的复合基板、以及在所述13族元素氮化物层上所设置的功能层。

13.根据权利要求12所述的功能元件，其特征在于，所述功能层的功能为发光功能、整流功能或电力控制功能。