[发明专利]具有封闭式横向通道的流体喷射管芯

权利要求书

1.一种流体喷射管芯，包括：

喷嘴的阵列，每个喷嘴包括：

喷射腔室；

开口；以及

设置在所述喷射腔室内的流体致动器；

通路的阵列，其形成在基板中，以输送流体往返所述喷射腔室；以及

形成在所述基板的后表面上的封闭式横向通道的阵列，所述阵列中的每个封闭式横向通道流体连接到所述通路的阵列中的相应多个通路。

2.如权利要求1所述的流体喷射管芯，其特征在于，所述通路形成在所述基板的穿孔层中。

3.如权利要求1所述的流体喷射管芯，其特征在于，封闭式横向通道将流体输送到通路的不同子阵列的各排。

4.如权利要求1所述的流体喷射管芯，其特征在于，所述封闭式横向通道的阵列被分组成子阵列，封闭式横向通道的每个子阵列将流体输送到所述通路的阵列的子阵列的各排。

5.如权利要求4所述的流体喷射管芯，其特征在于，通路的不同子阵列对应于不同颜色的流体。

6.如权利要求1所述的流体喷射管芯，其特征在于：

每个喷嘴还包括引导流体往返对应的喷射腔室的通道；以及

对应于喷嘴的所述通道和所述通路形成微型再循环回路。

7.如权利要求1所述的流体喷射管芯，其特征在于，一排的通路对应于相同的封闭式横向通道。

8.如权利要求1所述的流体喷射管芯，其特征在于，一排的通路对应于多个封闭式横向通道。

9.如权利要求1所述的流体喷射管芯，其特征在于，通过所述封闭式横向通道的流体流动垂直于所述通路中的流体流动。

10.一种打印流体盒，包括：

壳体；

储存器，其设置在所述壳体内，以容纳待沉积在基板上的流体；以及

设置在所述壳体上的流体喷射管芯的阵列，每个流体喷射管芯包括：

喷嘴的阵列，每个喷嘴包括：

喷射腔室；

开口；以及

设置在所述喷射腔室内的流体致动器；

通路的阵列，其输送流体往返喷射腔室；以及

形成在所述基板的后表面上的封闭式横向通道的阵列，所述封闭式横向通道的阵列中的每个封闭式横向通道流体连接到所述通路的阵列中的相应多个通路。

11.如权利要求10所述的打印流体盒，其特征在于：

每个喷嘴还包括：

引导流体往返对应的喷射腔室的通道；以及

使流体移动通过所述通道的辅助流体致动器；以及

对应于喷嘴的所述通道和所述通路形成所述喷嘴的微型再循环回路。

12.如权利要求10所述的打印流体盒，其特征在于：

所述打印流体盒为基板宽打印杆；以及

所述流体喷射管芯的阵列被分组成打印头，其中，所述打印头跨越其上待沉积流体的基板的宽度交错。

13.一种用于制作流体喷射管芯的方法，包括：

形成喷射流体所通过的喷嘴和对应通路的阵列；

形成若干封闭式横向通道，其中，所述若干封闭式横向通道输送流体往返所述通路；以及

将所述喷嘴和对应通路的阵列联接到所述若干封闭式横向通道。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，在基板上形成所述若干封闭式横向通道包括：蚀刻其上形成所述通路的基板的后部层。

15.如权利要求13所述的方法，其特征在于，形成所述喷嘴和对应通路的阵列包括：将包含所述通路的膜粘附到限定所述喷嘴的层。