[发明专利]四极杆质谱分析装置

权利要求书

1.一种四极杆质谱分析装置，将四极杆滤质器用作根据质荷比分离测定对象的离子的质量分离器，所述四极杆质谱分析装置的特征在于，具备：

a)检测部，其对通过所述四极杆滤质器而来的离子进行检测；

b)电压调整部，其对决定所述检测部的增益的电压和施加于电极的电压中的任一个电压进行调整，所述电极在穿过了所述四极杆滤质器的离子到达该检测部为止的路径中形成电场；以及

c)控制部，其利用所述电压调整部调整电压，以使利用所述四极杆质谱分析装置对规定的试样进行测定所得到的实测质谱的至少一部分谱图案与作为目标的质谱的相应的谱图案一致或接近。

2.根据权利要求1所述的四极杆质谱分析装置，其特征在于，

所述检测部包括转换打拿极和二次电子倍增管，所述电压调整部调整对该转换打拿极施加的电压。

3.根据权利要求1所述的四极杆质谱分析装置，其特征在于，

在所述四极杆滤质器的出口与所述检测部之间还具备电极，该电极用于形成使从该四极杆滤质器的出口射出的离子收敛的电场，所述电压调整部调整对该电极施加的电压。

4.根据权利要求1所述的四极杆质谱分析装置，其特征在于，

在所述四极杆滤质器的出口与所述检测部之间还具备电极，该电极使用于将离子吸引到该检测部的电场的状态变化，所述电压调整部调整对该电极施加的电压。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的四极杆质谱分析装置，其特征在于，

在所述四极杆滤质器与用于生成源自试样成分的离子的离子源之间还具备离子输送光学系统，

在由所述电压调整部调整了电压时实测质谱的至少一部分图案与作为目标的质谱的相应的图案之间的差异不在容许范围内的情况下，所述控制部调整对所述离子输送光学系统施加的电压，以使该差异处于该容许范围内。