[发明专利]X射线分光分析装置

说明书

一种X射线分光分析装置，具备：激发源(12)，向试样(S)的照射区域(A)照射激发线；衍射部件(14)，设置为面向照射区域(A)；狭缝部件(13)，设置在照射区域(A)和衍射部件(13)之间，具有与照射区域(A)及衍射部件(14)的规定的面平行的狭缝；X射线线性传感器(15)，具有在与狭缝的长度方向垂直的方向上排列有多个检测元件而形成的光入射面；第1移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述衍射部件移动，从而变更所述试样表面与所述规定的面所成的角度、或/和所述试样表面与所述规定的面之间的距离；第2移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述X射线线性传感器移动，从而使该X射线线性传感器位于通过所述狭缝而在所述规定的面衍射的特征X射线的路径上。

技术领域

本发明涉及对照射了1级X射线或电子射线等激发线的试样发出的特征X射线进行分光并检测每个波长的强度的X射线分光分析装置。

背景技术

若对试样照射1次X射线或电子射线等激发线，则从该试样发出具有含有元素特有的波长的特征X射线。因此，通过对每个波长测量这样的X射线的强度，能够进行试样的元素分析。

在专利文献1及2中记载了一种X射线分光分析装置，具有：对试样的表面的分析点照射激发线的激发源、对从该激发线所照射的试样发出的X射线进行衍射的分光晶体、检测由该分光晶体衍射的X射线的检测器。若对分析点照射激发线，则从该分析点向各个方向发出特征X射线。若着眼于某一个波长的特征X射线，则在特征X射线的发出方向上放置分光晶体的情况下，在该分光晶体中，仅在该特征X射线的波长与对该分光晶体的入射角满足布拉格反射的条件时衍射并反射该特征X射线。因此，通过利用X射线线性传感器测量由该分光晶体以各种角度反射的X射线的强度，能够确定该特征X射线的峰值的波长。由X射线线性传感器测量的特征X射线的波长有时不仅有一个而有多个。在X射线分光分析装置中，将像这样测量每个波长的强度来检测特征X射线的方式称为“波长分散型”。X射线分光分析装置的检测方式除了波长分散型以外，还有对特征X射线的能量直接检测该能量的每个值的“能量分散型”，但波长分散型能够更好地进行分辨率高且精度高的元素分析。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-096750号公报

专利文献2：日本特开2002-189004号公报

非专利文献

非专利文献1：林久史著，“实验室用、1结晶型、高分辨率X射线分光器进行的Cr和Fe化合物的化学状态分析”，《X射线分析的进步》,日本分析化学会、X射线分析研究恳谈会编,AGNE技术中心于2015年3月31日发行，第46卷，第187-201页。

非专利文献2：I.Zaharieva及其它9名著，“走向研究光合锰复合物的综合X射线方法-XANES,Kα/Kβ/Kβ-卫星发射线、RIXS和针对所选择的模型复合物的比较计算方法(Towards a comprehensive X-ray approach for studying the photosyntheticmanganese complex-XANES,Kα/Kβ/Kβ-satellite emission lines,RIXS,andcomparative computational approaches for selected model complexes)”，《物理杂志：会议系列》,英国物理学会于2009年11月5日发行，第190卷，论文编号012142。

非专利文献3：Kenji Sakurai，Hiromi Eba著，“使用锰Kβ'和Kβ5X射线荧光的相对强度的化学表征(Chemical characterization using relative intensity ofmanganese Kβ'and Kβ5X-ray fluorescence)”，《物理研究B部分:核仪器和方法》，Elsevier B.V于2003年1月发行，第199巻，第391-395页。

发明内容