[发明专利]发光分光分析装置

说明书

本发明提供一种发光分光分析装置。在发光分光分析装置中设置：放电室，通过在内部产生放电来使试样进行激发发光；加压器，作为收容液体的容器；气体供给源，填充有被压缩成大气压以上的惰性气体；气体供给用管路，一端与气体供给源连接，另一端与放电室连接；气体排出用管路，一端与放电室连接，另一端朝加压器内的液体中打开；排气管路，一端在加压器内配置于比液体的液面更上方，另一端朝所述加压器的外部打开；压力传感器，测定气体供给用管路内的惰性气体的压力；以及警告部件，当由压力传感器所得的测定值超过事先规定的值时对用户发出警告。由此，用户可立即知道在来自所述加压器的排气的流路产生了堵塞。

技术领域

本发明涉及一种通过放电来使固体试样进行激发发光，并对其发光光进行分光测定的发光分光分析装置。

背景技术

在发光分光分析装置中，通常通过电弧放电或火花放电等来对作为金属或非金属的固体试样赋予能量，由此使所述试样进行蒸发气化及激发发光，将其发光光导入至分光器中后取出具有各元素所特有的波长的光谱线来进行检测(例如，参照专利文献1)。尤其，将火花放电用于激发源的发光分光分析装置可进行精度高的分析，因此例如在钢铁材料或非铁金属材料等的生产工厂中，广泛地用于进行所生产的金属体中的组成分析。

将习知一般的发光分光分析装置的构成示于图3中。所述发光分光分析装置包括：激发部210，使固体试样S进行激发发光；分光部220，使来自所述试样S的发光光进行波长分散来进行检测；以及控制与处理部230，进行各部的控制及数据处理。

激发部210具备：放电产生部211、电极棒212、放电室213、试样载置板214及聚光透镜215。在放电室213设置有朝斜上方敞开的分析开口及用以自放电室213中取出光的导光孔213a，试样载置板214以覆盖所述分析开口的方式装卸自如地安装于放电室213的上部。试样载置板214具有比试样S小的中央开口214a，将试样S以覆盖试样载置板214的中央开口214a的方式载置于试样载置板214，由此试样S的下表面(被分析面)的一部分露出至放电室213的内部。用于放电的电极棒212以使其前端朝向所述中央开口214a的状态配设于放电室213的内部。

放电产生部211将脉冲状的高电压与规定频率(例如400Hz)同步地施加至电极棒212。铁或非铁金属等试样S通过来自电极棒212的火花放电而进行激发发光。由试样S的激发发光所产生的发光光穿过设置于放电室213的导光孔213a，由聚光透镜215聚光后经由入口狭缝221而被导入至分光部220。

分光部220如专利文献1等中所公开那样，为了获得多个元素各自所特有的波长的光谱线，而具有用以使来自试样S的光进行波长分散的衍射光栅222，配置于各波长的光谱线到达的位置上的出口狭缝223a、出口狭缝223b、出口狭缝223c，以及配置于各出口狭缝223a、223b、223c的后方的多个光检测器(通常为光电倍增管)224a、224b、224c。自所述激发部210经由入口狭缝221而射入至分光部220的光通过所述衍射光栅222而进行波长分散，其波长分散光中的穿过各出口狭缝223a、223b、223c的规定的波长范围的光由各光检测器224a、224b、224c来进行检测。

通过试样的测定所获得的源自各光检测器224a、224b、224c的检测信号经由模拟/数字(Analog/Digital，A/D)转换部225而被输入至控制与处理部230，通过进行规定的数据处理来求出具有某一含量的某一元素的光谱线的强度，并根据其执行对于各元素的定量分析等。