[发明专利]对基板作业装置及图像处理方法

说明书

对基板作业装置具备：拍摄装置，拍摄基板；存储装置，存储各种信息；及图像处理装置，在对多个基板进行预定作业的情况下，对于最前基板执行最前基板用处理，对于除了最前基板以外的后续基板执行后续基板用处理，其中，上述最前基板用处理是对于由拍摄装置拍摄最前基板而得到的拍摄图像进行用于检测预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测对象的检测所需要的拍摄图像内的区域相关的区域信息并存储于存储装置的处理，上述后续基板用处理是在由拍摄装置拍摄后续基板而得到的拍摄图像中基于区域信息设定局部的处理区域并对设定的处理区域进行图像处理的处理。

技术领域

本说明书公开了对基板作业装置及图像处理方法。

背景技术

以往，在向基板安装元件等的进行对于基板的作业的对基板作业装置中，为了高精度地取得保持的元件的位置和角度等，提出了进行生成分辨率比拍摄元件而得到的图像高的高分辨率图像的超分辨率处理的方案(参照例如专利文献1)。在该对基板作业装置中，仅对包含元件的特征部分的处理区域进行超分辨率处理而生成高分辨率图像。

现有技术文献

专利文献1：WO2015/049723号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，近年来，伴随着基板和元件的小型化，超分辨率处理的对象也具有微小化的趋势，其中有时若不是通过超分辨率处理生成的高分辨率图像则无法识别出对象。在该情况下，在超分辨率处理之前难以确定包含元件等对象的特征部分的处理区域，而将图像的全部区域作为处理区域进行超分辨率处理等图像处理。这样，图像处理的处理时间不必要地延长，图像处理的效率下降。

本公开的主要目的在于高效地进行对于基板的作业所需要的图像处理。

用于解决课题的手段

本公开为了达成上述主要目的而采用了以下的手段。

本公开的对基板作业装置的主旨在于，具备：拍摄装置，拍摄基板；存储装置，存储各种信息；及图像处理装置，对于作为预定作业的对象的多个上述基板中的最前的基板执行最前基板用处理，对于作为上述预定作业的对象的多个上述基板中的除了上述最前基板以外的后续的基板执行后续基板用处理，其中，上述最前基板用处理是对通过上述拍摄装置拍摄上述最前的基板而得到的最前图像进行用于检测上述预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得与检测出了上述检测对象的上述最前图像内的区域相关的区域信息并存储于上述存储装置的处理；上述后续基板用处理是在通过上述拍摄装置拍摄上述后续的基板而得到的后续图像中基于存储于上述存储装置的上述区域信息来设定局部的处理区域，并对所设定的上述处理区域进行上述图像处理的处理。

本公开的对基板作业装置对于多个基板中的最前基板执行如下的最前基板用处理，上述最前基板用处理是对拍摄最前基板而得到的最前图像进行用于检测预定作业所需要的预定的检测对象的图像处理，并且取得并存储与检测出了检测对象的最前图像内的区域相关的区域信息的处理。另外，对于多个基板中的除了最前基板以外的后续基板执行如下的后续基板用处理，上述后续基板用处理上在拍摄后续基板而得到的后续图像中基于在最前基板用处理中存储的区域信息来设定局部的处理区域，并对该处理区域进行图像处理的处理。由此，能够基于在最前基板用处理中存储的区域信息而适当地设定后续图像中的局部的处理区域。并且，在后续基板用处理中，不将后续图像整个作为处理区域，而对于局部的处理区域进行图像处理即可，因此能够高效地进行对于多个基板的作业所需要的图像处理。