[发明专利]带电粒子束装置

说明书

带电粒子束装置具备：带电粒子束源，其放出一次带电粒子束；物镜，其使一次带电粒子束聚焦于试样上；通道电极，其设置于带电粒子束源与物镜的前端之间且由金属部件构成；检测器，其检测从试样放出的二次带电粒子；以及静电场电极，其与通道电极电绝缘，通道电极形成为供一次带电粒子束穿过该通道电极的内侧，静电场电极形成为覆盖通道电极的外周。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置。

背景技术

就带电粒子束装置而言，公开有辨别检测二次电子和背散射电子的技术(专利文献1)。在专利文献1中，在检测系统内设置将信号电子减速的减速空间，使该减速空间产生偏转场，选择性地收集能量降低了的二次电子。另外，通过控制该减速空间的电位，分选检测的信号电子的能量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO99/46798号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在具备专利文献1这样的减速空间的检测系统中，偏转场在一次电子束路径上漏出，因此不能避免因一次电子束的能量分散而引起的像差增大。在此，若为了抑制对一次电子束轨道的影响而减弱偏转场，则二次电子的收集效率降低。即，不能兼顾一次电子束的像差抑制和信号电子的高效检测。

因此，本发明的目的在于提供一种带电粒子束装置，其不对一次粒子束产生影响且能够按照能量分选在试样产生的放出粒子并高效地收集。

用于解决课题的方案

本发明的一方案的带电粒子束装置具备：带电粒子束源，其放出一次带电粒子束；物镜，其使一次带电粒子束聚焦于试样上；通道电极，其设置于带电粒子束源与物镜的前端之间且由金属部件构成；第一检测器，其检测从试样放出的二次带电粒子；以及静电场电极，其与通道电极电绝缘，通道电极形成为供一次带电粒子束穿过该通道电极的内侧，静电场电极形成为覆盖通道电极的外周。

发明效果

根据本发明，能够提供一种带电粒子束装置，其不对一次粒子束产生影响，能够按照能量分选试样产生的放出粒子并高效地收集。

附图说明

图1是实施例1的SEM的概略图。

图2是表示二次电子检测器的配置的图。

图3是开口的概略图。

图4是ET检测器的概略图。

图5是在四个方向上设置有二次电子检测器的图。

图6是实施例2的SEM的概略图。

图7是在四个方向设置有实施例2的二次电子检测器的图。

图8是实施例3的SEM的概略图。

图9是通道电极的概略剖视图。

图10A是实施例3的无高电阻材料的情况的电位分布的概略图。

图10B是实施例3的有高电阻材料的情况的电位分布的概略图。

图11是梁电极的概略图。

图12是实施例4的SEM的概略图。

图13是实施例5的SEM的概略图。

图14是FIB－SEM的概略图。

图15是监视器画面的一例。

具体实施方式