[发明专利]集成数字激光器

权利要求书

1.一种具有可变横向空间模式输出的激光器件，包括：

从在激光波长处透明的材料形成的衬底；

由所述衬底支撑的第一反射层，所述第一反射层被配置为以所述激光波长反射至少一些入射辐射；

包括增益介质的层，用于提供以所述激光波长的辐射的受激发射，该层包括位于所述第一反射层和所述衬底之间的所述增益介质；

由所述衬底支撑的第二反射层，在所述衬底的、与所述第一反射层相对的一侧上，所述第二反射层被配置为以所述激光波长反射至少一些入射辐射；

由所述衬底支撑的空间光调制器，位于通过所述第一反射层和所述第二反射层包括的光学腔中的辐射路径中，所述空间光调制器包括元件阵列，每个元件阵列对应于用于所述光学腔中的辐射的不同路径；以及

与所述空间光调制器通信的计算机控制器，

其中，在操作期间，所述计算机控制器使所述空间光调制器选择性地改变所述光学腔中的每个辐射路径中的辐射强度或相位，以提供来自所述激光器件的所述辐射的可变横向空间模式输出。

2.根据权利要求1所述的激光器件，其中，所述空间光调制器在所述衬底的、与包括所述增益介质的层相对的侧上。

3.根据权利要求2所述的激光器件，其中，所述空间光调制器是透射空间光调制器。

4.根据权利要求1所述的激光器件，其中，所述空间光调制器在所述衬底的、与包括所述增益介质的层相同的侧上。

5.根据权利要求4所述的激光器件，其中，所述空间光调制器是反射空间光调制器。

6.根据权利要求4所述的激光器件，其中，所述第二反射层被布置成将由所述增益介质发射的入射辐射朝向所述空间光调制器反射，并将由所述空间光调制器反射的入射辐射朝向所述增益介质反射。

7.根据权利要求1所述的激光器件，其中，所述第一反射层包括用于以所述激光波长进行辐射的布拉格反射器。

8.根据权利要求1所述的激光器件，其中，所述第二反射层包括反射光栅。

9.根据权利要求8所述的激光器件，其中，所述反射光栅是啁啾光栅。

10.根据权利要求1所述的激光器件，其中，所述增益介质包括量子阱层。

11.如权利要求1所述的激光器件，还包括在包括所述增益介质的层和所述衬底之间的第一电极层。

12.根据权利要求11所述的激光器件，还包括第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层位于包括所述增益介质的层的相对侧上。

13.根据权利要求12所述的激光器件，其中，所述第一电极层和所述第二电极层中的一个或两者都是图案化的电极层。

14.根据权利要求11所述的激光器件，其中，所述第一电极层从在所述激光波长处透明的导电材料形成。

15.根据权利要求11所述的激光器件，其中，所述第一电极层包括用于激光辐射通过的孔。

16.根据权利要求1所述的激光器件，其中，所述第一反射层或所述第二反射层是用于以所述激光波长辐射的部分反射层。

17.根据权利要求1所述的激光器件，其中，所述激光波长在250nm至5,000nm的范围内。

18.根据权利要求1所述的激光器件，其中，在操作期间，使用电子束对所述增益介质进行电泵浦、光学泵浦或泵浦。

19.一种显示器，包括权利要求1的激光器件。