[发明专利]垂直基板固持器

权利要求书

1.一种物件，包含：

框架，所述框架用于在薄膜沉积系统中将基板固持在一大略垂直配置中，所述薄膜沉积系统包含涂布装置，所述框架在尺寸上大于所述基板，且其中所述基板具有至少一正面、背面、与至少一个边缘；所述框架包含：平坦框架部与通道部，其中在所述物件位于所述薄膜沉积系统中时，所述平坦框架部被定位在所述涂布装置与所述基板的至少部分之间，且所述通道部被定位为邻接所述至少一个基板边缘；所述平坦框架部包含保护性间隔垫，所述保护性间隔垫在所述正面上接触所述基板，所述保护性间隔垫包含将不会刮伤所述基板的所述正面的材料，所述保护性间隔垫具有相对于钢等于或小于0.5的动摩擦系数；和

两个或更多个夹具，包含：

a）缓冲器，所述缓冲器在所述背面上接触所述基板，所述缓冲器包含将不会刮伤所述基板的所述背面的材料，所述缓冲器具有相对于钢等于或小于0.5的动摩擦系数；

b）刚性悬臂，所述刚性悬臂将所述通道部直接或间接地连接至所述缓冲器；和

c）施力张紧器机构，所述施力张紧器机构在所述基板上提供小于25 N的反作用力；

其中所述物件被设计以使得在基板位于所述框架中时，所述基板被固持于一角度φ，所述角度φ是从大于0˚至10˚前倾，所述基板并在经受热变异的同时经历小于100 MPa的最大主要应力，所述热变异在从0˚C至400˚C的范围中从1˚/分钟至40˚/分钟，

其中所述保护性间隔垫具有与所述基板接触的圆柱表面。

2.如权利要求1所述的物件，其中所述缓冲器与所述保护性间隔垫是由有机聚合物制成。

3. 如权利要求1所述的物件，其中所述最大主要应力是80 MPa或更小。

4. 如权利要求1所述的物件，其中所述反作用力小于15 N。

5.如权利要求1所述的物件，其中所述基板被保持在一角度φ，所述角度φ是从大于0˚至3˚前倾。

6.如权利要求1至权利要求5中任一项所述的物件，其中所述两个或更多个夹具的每一个可在正交于所述基板面的轴上旋转。

7.如权利要求1至权利要求5中任一项所述的物件，其中正交于所述基板的所述背面并通过所述缓冲器接触所述基板的点的假想线，也将通过所述保护性间隔垫。

8.一种物件，包含：

框架，所述框架用于在薄膜沉积系统中将基板固持在一大略垂直配置中，所述薄膜沉积系统包含涂布装置，所述框架在尺寸上大于所述基板，且其中所述基板具有至少一正面、背面、与至少一个边缘；所述框架包含：平坦框架部，其中在所述物件位于所述薄膜沉积系统中时，所述平坦框架部被定位在所述涂布装置与所述基板的至少部分之间；所述平坦框架部包含保护性间隔垫，所述保护性间隔垫在所述正面上接触所述基板，所述保护性间隔垫包含将不会刮伤所述基板的所述正面的材料，所述保护性间隔垫具有相对于钢等于或小于0.5的动摩擦系数；和

两个或更多个夹具，包含：

a）悬臂间隔垫，所述悬臂间隔垫将刚性悬臂直接或间接地连接至所述框架；

b）缓冲器，所述缓冲器在所述背面上接触所述基板，所述缓冲器包含将不会刮伤所述基板的所述背面的材料，所述缓冲器具有相对于钢等于或小于0.5的动摩擦系数；

c）所述刚性悬臂，所述刚性悬臂将所述悬臂间隔垫直接或间接地连接至所述缓冲器；和

d）施力张紧器机构，所述施力张紧器机构在所述基板上提供小于25 N的反作用力；

其中所述物件被设计以使得在基板位于所述框架中时，所述基板被固持于一角度φ，所述角度φ是从大于0˚至10˚前倾，所述基板并在经受热变异的同时经历小于100 MPa的最大主要应力，所述热变异在从0˚C至300˚C的范围中从5˚/分钟至40˚/分钟，

其中所述保护性间隔垫具有与所述基板接触的圆柱表面。