[发明专利]可调谐标准具设备和成像设备

权利要求书

1.一种可调谐标准具设备，其特征在于，所述可调谐标准具设备包括：

前镜和后镜，

挠曲结构，

通过所述挠曲结构彼此附接的锚结构和框架结构，

后挡块结构，

其中，所述前镜能够相对于所述后镜沿一方向移动，

其中，所述可调谐标准具设备被封闭在两个透明或半透明板之间，所述两个透明或半透明板包括：

盖板，和

集成有所述后镜的板，

其中，在所述可调谐标准具设备的初始预应力未致动状态下：

所述前镜与所述后挡块结构物理接触，所述物理接触是由通过所述挠曲结构施加在所述框架结构上的应力引起的，

所述锚结构被施力与集成有所述后镜的所述板接触，其中，所述后挡块结构相对于集成有所述后镜的所述板沿所述方向突出，并且

所述前镜和所述后镜通过具有预应力未致动间隙尺寸的间隙分开，所述可调谐标准具设备被配置为呈现至少一个致动状态，在所述致动状态中，所述间隙具有大于所述预应力未致动间隙尺寸的致动间隙尺寸间隙。

2.根据权利要求1所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述预应力未致动间隙尺寸由与所述前镜和所述后镜物理接触的所述后挡块结构确定。

3.根据权利要求1所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述挠曲结构附接到所述锚结构和所述框架结构但不附接到所述前镜。

4.根据权利要求3所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述可调谐标准具设备还包括间隔结构，所述间隔结构将所述锚结构从所述后镜分开。

5.根据权利要求4所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述前镜和所述间隔结构形成在同一单层中。

6.根据权利要求5所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述单层由以下材料中的任何一种制成：玻璃；塑料；硅；和锗。

7.根据权利要求1所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述锚结构，所述框架结构和所述挠曲结构形成在同一单层中。

8.根据权利要求7所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述单层由以下材料中的任何一种制成：玻璃；塑料；硅；和锗。

9.根据权利要求1所述的可调谐标准具设备，其特征在于，集成有所述后镜的所述板由是以下材料中的任何一种的透明或半透明材料制成：玻璃；塑料；硅；和锗。

10.根据权利要求1所述的可调谐标准具设备，其特征在于，集成有所述后镜的所述板还包括凹槽，所述凹槽用于辅助对所述挠曲结构预应力以增强所述预应力未致动状态。

11.根据权利要求1所述的可调谐标准具设备，其特征在于，集成有所述后镜的所述板包括混合结构，所述混合结构包括至少两种材料的组合，其中所述至少两种材料中的第一材料是透明或半透明的，并且所述至少两种材料中的第二材料比所述第一材料硬。

12.根据权利要求11所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述至少两种材料包括玻璃和硅。

13.根据权利要求1所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述盖板相对于所述前镜位于物侧。

14.根据权利要求13所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述可调谐标准具设备还包括前挡块结构，所述前挡块结构确定所述前镜和所述盖板之间的最小间隙。

15.根据权利要求1所述的可调谐标准具设备，其特征在于，所述盖板容纳致动机构的至少一部分，所述致动机构被配置用于控制所述前镜和所述后镜之间的间隙尺寸。