[发明专利]用于光学检测至少一个对象的检测器

权利要求书

1.一种用于确定至少一个对象(112,1112)的位置的检测器(110,1110,2110)，所述检测器(110,1110,2110)包括：

-至少一个传送装置(128,1128,2128)，其中所述传送装置(128,1128,2128)响应于从所述对象(112,1112,2112)传播到所述检测器(110,1110,2110)的至少一个入射光束(116,1116)而具有至少一个焦距；

-至少两个光学传感器(113,1118,1120,2113)，其中每个光学传感器(113,1118,1120)具有至少一个光敏区域(121,1122,1124,2121)，其中每个光学传感器(113,1118,1120,2113)被设计为响应于所述光束(116,1116,2131)对其各自的光敏区域的照射而产生至少一个传感器信号，

-至少一个评估装置(132,1132,2133)，被配置用于通过评估来自所述传感器信号的商信号Q来确定所述对象(112,1112,2112)的至少一个纵向坐标z；

其中，所述检测器适于独立于对象平面中的对象尺寸在至少一个测量范围中确定所述对象的所述纵向坐标z，

其中，所述传感器信号中的每个包括所述光束的至少一个光束轮廓的光束轮廓的至少一个区域的至少一个信息，

其中，所述光敏区域被布置成使得第一传感器信号包括所述光束轮廓的第一区域的信息以及第二传感器信号包括所述光束轮廓的第二区域的信息，其中所述光束轮廓的所述第一区域和所述光束轮廓的所述第二区域是相邻区域或重叠区域中的一种或两种，

其中，所述评估装置(132)被配置为确定所述光束轮廓的所述第一区域和所述光束轮廓的所述第二区域，

其中，所述光束轮廓的所述第一区域包括所述光束轮廓的基本上边缘信息，并且所述光束轮廓的所述第二区域包括所述光束轮廓的基本上中心信息。

2.根据权利要求1所述的检测器(110,1110,2110)，其中，通过调节选自下组的一个或多个参数来调节所述测量范围：从所述对象到所述传送装置的纵向距离z₀；所述传送装置的所述焦距f；所述传送装置的出瞳直径E_x；从所述传送装置到所述光敏区域的纵向距离z_s，从所述传送装置到所述对象的图像的距离z_i；所述对象在所述对象平面中的所述对象尺寸Q_size。

3.根据权利要求2所述的检测器(110,1110,2110)，其中，如果从所述对象的至少一个点发射的至少一个光束的弥散圈大于所述对象的图像尺寸，则所述检测器适于独立于所述对象尺寸确定所述对象的所述纵向坐标z。

4.根据权利要求3所述的检测器(110,1110,2110)，其中，如果对于至少一个距离保持成立，则所述检测器适于独立于所述对象尺寸确定所述对象的所述纵向坐标z。

5.根据权利要求4所述的检测器(110,1110,2110)，其中，对象尺寸下限为0.5μm或更大。

6.根据权利要求5所述的检测器(110,1110,2110)，其中，所述对象尺寸下为1μm或更大。

7.根据权利要求6所述的检测器(110,1110,2110)，其中，所述对象尺寸下限为10μm或更大。

8.根据前述权利要求1到7中任一项所述的检测器(110,1110,2110)，其中，所述评估装置(132)被配置用于通过以下方式中的一个或多个来导出商信号Q：除所述传感器信号、除所述传感器信号的倍数、除所述传感器信号的线性组合。

9.根据前述权利要求1到7中任一项所述的检测器(110,1110,2110)，其中，所述评估装置(132)被配置为使用所述商信号Q和所述纵向坐标之间的至少一个预定关系来确定所述纵向坐标。