[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，用于对基板进行处理，其特征在于，具有：

基板保持部，将基板以水平姿势保持，且绕与铅直方向平行的旋转轴线进行旋转；

旋转驱动部，使所述基板保持部旋转；

杯体部，具有形成为能将保持于所述基板保持部的所述基板包围的筒状的第一筒状部及第二筒状部，所述第二筒状部以位于所述第一筒状部的上侧的方式形成；

处理液供给部，通过向保持于所述基板保持部的所述基板供给处理液，来对该基板进行处理；

相对移动机构，通过使所述杯体部相对于所述基板保持部而在铅直方向上相对移动，来使所述杯体部分别在第一相对位置以及第二相对位置停止，所述第一相对位置为所述第一筒状部包围保持于所述基板保持部的所述基板的位置，所述第二相对位置为所述第二筒状部包围保持于所述基板保持部的所述基板的位置；以及

控制部；

所述控制部以如下方式控制所述相对移动机构、所述旋转驱动部以及所述处理液供给部：

使所述杯体部停止在所述第一相对位置，从所述处理液供给部向旋转的所述基板供给作为所述处理液的第一处理液，使从旋转的所述基板被甩出并由所述第一筒状部的内周面接住的第一处理液沿所述第一筒状部的内周面流下，

然后，使所述杯体部停止在所述第二相对位置，从所述处理液供给部向旋转的所述基板供给作为所述处理液的第二处理液，使从旋转的所述基板被甩出并由所述第二筒状部的内周面接住的第二处理液沿着所述第二筒状部及所述第一筒状部的内周面流下。

2.一种基板处理装置，用于对基板进行处理，其特征在于，具有：

基板保持部，将基板以水平姿势保持，且绕与铅直方向平行的旋转轴线进行旋转；

旋转驱动部，使所述基板保持部旋转；

杯体部，具有形成为能将保持于所述基板保持部的所述基板包围的筒状的第一筒状部及第二筒状部，所述第二筒状部以位于所述第一筒状部的上侧的方式形成；

处理液供给部，通过向保持于所述基板保持部的所述基板供给处理液，来对该基板进行处理；以及

相对移动机构，通过使所述杯体部相对于所述基板保持部而在铅直方向上相对移动，来使所述杯体部分别在第一相对位置以及第二相对位置停止，所述第一相对位置为所述第一筒状部包围保持于所述基板保持部的所述基板的位置，所述第二相对位置为所述第二筒状部包围保持于所述基板保持部的所述基板的位置；

所述杯体部的内宽从所述第二筒状部至所述第一筒状部逐渐变小。

3.一种基板处理装置，用于对基板进行处理，其特征在于，具有：

基板保持部，将基板以水平姿势保持，且绕与铅直方向平行的旋转轴线进行旋转；

旋转驱动部，使所述基板保持部旋转；

杯体部，具有形成为能将保持于所述基板保持部的所述基板包围的筒状的第一筒状部及第二筒状部，所述第二筒状部以位于所述第一筒状部的上侧的方式形成；

处理液供给部，通过向保持于所述基板保持部的所述基板供给处理液，来对该基板进行处理；

相对移动机构，通过使所述杯体部相对于所述基板保持部而在铅直方向上相对移动，来使所述杯体部分别在第一相对位置以及第二相对位置停止，所述第一相对位置为所述第一筒状部包围保持于所述基板保持部的所述基板的位置，所述第二相对位置为所述第二筒状部包围保持于所述基板保持部的所述基板的位置；

环状部，设置于所述杯体部的铅直方向的中间部，从所述第一筒状部的内周面向所述杯体部的内侧方向突出，且内缘部在铅直方向上形成有能够供所述基板保持部通过的孔；以及

连结部，在所述第一筒状部与所述环状部之间形成间隙并将所述第一筒状部与所述环状部连结。