[发明专利]具有振荡件的微机械构件及其制造方法和用于激发可调节部件围绕旋转轴线的运动的方法

权利要求书

1.一种微机械构件，所述微机械构件具有：

保持件(10)；

可调节部件(12)，该可调节部件至少通过至少一个弹簧(14a、14b、14c)与所述保持件(10)连接；和

致动器装置(18)，该致动器装置设计成，使得所述可调节部件(12)相对于所述保持件(10)围绕第一转动轴线(20)的第一振荡运动(Φ1)能够借助于所述致动器装置(18)被激发，并且同时，被置于所述第一振荡运动(Φ1)中的所述可调节部件(12)相对于所述保持件(10)围绕关于所述第一转动轴线(20)倾斜地定向的第二转动轴线(22)的第二振荡运动(Φ2)能够借助于所述致动器装置(18)被激发；

其特征在于，

所述可调节部件(12)至少借助于所述至少一个弹簧(14a、14b、14c)能调节地布置在所述保持件(10)上，使得所述可调节部件(12)能够借助于由激发被置于所述第一振荡运动(Φ1)中的所述可调节部件(12)进行所述第二振荡运动(Φ2)而引起的扭矩(M)相对于所述保持件(10)围绕垂直于所述第一转动轴线(20)并且垂直于所述第二转动轴线(22)定向的旋转轴线(24)调节。

2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，所述致动器装置(18)设计成，使得所述可调节部件(12)能这样被置于作为第一振荡运动(Φ1)的第一共振振荡运动(Φ1)中并且同时被置于作为第二振荡运动(Φ2)的第二共振振荡运动(Φ2)中，使得所述可调节部件(12)能够借助于所引起的扭矩(M)被置于围绕所述旋转轴线(24)的振荡运动(Φ3)中。

3.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述可调节部件(12)包括具有反射表面(16)的镜板(12)，其中，所述可调节部件(12)能够被置于围绕垂直于所述反射表面(16)定向的第一转动轴线(20)的第一振荡运动(Φ1)中并且同时被置于所述第二振荡运动(Φ2)中，或者能够被置于所述第一振荡运动(Φ1)中并且同时被置于围绕垂直于所述反射表面(16)定向的第二转动轴线(22)的第二振荡运动(Φ2)中。

4.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述微机械构件包括至少一个内弹簧(14a)、至少一个中间弹簧(14b)和至少一个外弹簧(14c)作为所述至少一个弹簧(14a、14b、14c)，并且所述可调节部件(12)至少通过所述至少一个内弹簧(14a)与内部中间框(26)连接，所述内部中间框(26)至少通过所述至少一个中间弹簧(14b)与外部中间框(28)连接，并且所述外部中间框(28)至少通过所述至少一个外弹簧(14c)与所述保持件(10)连接。

5.根据权利要求4所述的微机械构件，其中，被置于所述第一振荡运动(Φ1)中的所述可调节部件(12)能够借助于所述致动器装置(18)相对于所述内部中间框(26)、所述外部中间框(28)和所述保持件(10)围绕所述第一转动轴线(20)调节，并且所述外部中间框(28)和所述内部中间框(26)能够与被置于所述第二振荡运动(Φ2)中的所述可调节部件(12)一起借助于所述致动器装置(18)相对于所述保持件(10)围绕所述第二转动轴线(22)调节，其中，所述内部中间框(26)能够与所述可调节部件(12)一起借助于所引起的扭矩(M)相对于所述外部中间框(28)和所述保持件(10)围绕所述旋转轴线(24)调节。

6.根据权利要求4所述的微机械构件，其中，所述内部中间框(26)能够与被置于所述第一振荡运动(Φ1)中的所述可调节部件(12)一起借助于所述致动器装置(18)相对于所述外部中间框(28)和所述保持件(10)围绕所述第一转动轴线(20)调节，并且所述外部中间框(28)和所述内部中间框(26)能够与被置于所述第二振荡运动(Φ2)中的所述可调节部件(12)一起借助于所述致动器装置(18)相对于所述保持件(10)围绕所述第二转动轴线(22)调节，其中，所述可调节部件(12)能够借助于所引起的扭矩(M)相对于所述内部中间框(26)、所述外部中间框(28)和所述保持件(10)围绕所述旋转轴线(24)调节。