[发明专利]摄像装置以及摄像方法有效
申请号: | 201780080487.0 | 申请日: | 2017-11-24 |
公开(公告)号: | CN110114656B | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 加藤佳祐;石川直树 | 申请(专利权)人: | 株式会社斯库林集团 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金成哲;郑毅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 摄像 装置 以及 方法 | ||
1.一种摄像装置,其对在具有透光性的壁部的容器内所容纳的被摄像物进行断层摄像,
所述摄像装置的特征在于,具备:
摄像单元,其对信号光与参照光干涉而产生的干涉光通过分光器进行分光并通过光检测器进行检测从而输出与检出的所述干涉光对应的干涉信号,其中,该信号光是通过物体光学系对将从光源出射的宽带的低相干光所分支的一个分支光作为照明光而透过所述壁部向所述被摄像物入射且透过所述壁部出射的所述被摄像物的反射光进行聚光而得到的,该参照光是由另一个分支光生成的;
信号处理单元,其基于所述干涉信号对所述干涉光的光谱进行傅里叶变换而求出所述照明光的入射方向的所述被摄像物的反射光强度分布,并由该反射光强度分布生成断层图像;以及
控制单元,其对所述物体光学系相对于所述被摄像物的所述入射方向的焦点深度以及所述参照光的光路长度进行变更设定,并执行多次所述断层摄像,
所述控制单元构成为,
取得与所述壁部的厚度有关的信息,并设定比所述壁部的厚度小的阈值,
对每个所述断层摄像设定所述焦点深度,若根据所设定的所述焦点深度确定的从所述壁部的表面中的所述被摄像物侧的第一表面到所述物体光学系的焦点的距离小于所述阈值,则将所述参照光的光路长度设定为与到所述第一表面的所述照明光的光路长度相等的值。
2.根据权利要求1所述的摄像装置,其特征在于,
所述控制单元对所述参照光的光路长度进行以下设定,即从所述壁部的表面中的相对于所述第一表面与所述被摄像物为相反侧的第二表面到参照基准面的距离与所述壁部的厚度相等,其中,该参照基准面是与所述照明光的光路正交的虚拟的平面且到该平面的所述照明光的光路长度与所述参照光的光路长度相等。
3.根据权利要求2所述的摄像装置,其特征在于,
所述信号处理单元将由所述反射光强度分布求出的所述断层图像中的所述第一表面的像与所述第二表面的共轭像之间的区域作为有效的图像区域。
4.根据权利要求2或者3所述的摄像装置,其特征在于,
所述信号处理单元由相对于同一所述被摄像物使所述焦点深度互不相同而得到的多个检测结果求出各焦点附近的所述反射光强度分布。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的摄像装置,其特征在于,
所述阈值为所述壁部的厚度的一半。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的摄像装置,其特征在于,
所述摄像单元具有参照镜,该参照镜配置在所述参照光的光路上并规定所述参照光的光路长度,
所述控制单元具有:
镜驱动机构,其使所述参照镜的位置变化来调整所述参照光的光路长度;以及
焦点调整机构,其对所述物体光学系进行驱动来调整所述焦点深度。
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