[发明专利]流体输送系统的致动器

权利要求书

1.一种打印头，包括：

支撑结构，其包括可变形部分，该可变形部分的外周边限定泵送室的顶部表面的外周边；和

致动器，其设置在支撑结构的可变形部分上，

其中可变形部分的外周边与泵送室的外周边对准，并且

其中，沟槽限定在致动器的顶部表面中，整个沟槽定位在可变形部分的外周边内。

2.一种打印头，包括：

支撑结构，其包括可变形部分，该可变形部分至少限定泵送室的顶部表面；和

致动器，其设置在支撑结构的可变形部分上，其中，沟槽限定在致动器的顶部表面中，并远离致动器的顶部表面的中心区域径向向外延伸。

3.一种打印头，包括：

支撑结构，其包括可变形部分，该可变形部分至少限定泵送室的顶部表面；和

致动器，其设置在支撑结构的可变形部分上，其中，沟槽限定在致动器的顶部表面中，所述沟槽限定从可变形部分的外周边向内偏移的环的至少一部分。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的打印头，其中，向致动器施加电压引起致动器沿着所述沟槽变形，从而引起可变形部分的变形，以便从泵送室喷射流体液滴。

5.根据权利要求1所述的打印头，其中，所述沟槽远离致动器的顶部表面的中央区域径向向外延伸。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的打印头，包括多个径向沟槽，每个径向沟槽远离致动器的顶部表面的中央区域径向向外延伸。

7.根据权利要求6所述的打印头，其中，每个所述径向沟槽在所述径向沟槽与所述沟槽相交的点处垂直于所述沟槽取向。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的打印头，其中，所述沟槽与可变形部分的周边之间的距离大于所述沟槽与可变形部分的顶部表面的中央区域之间的距离。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的打印头，其中，所述沟槽与可变形部分的周边之间的距离小于所述沟槽与可变形部分的顶部表面的中央区域之间的距离。

10.根据权利要求1所述的打印头，其中，所述沟槽限定相对于可变形部分的外周边的一部分向内偏移的环的至少一部分。

11.根据权利要求1或3所述的打印头，其中，所述沟槽是第一沟槽，并且还包括限定在致动器的顶部表面中的第二沟槽，第二沟槽从第一沟槽径向向外延伸。

12.根据权利要求11所述的打印头，其中，第二沟槽的第一端连接到第一沟槽，并且第二沟槽的第二端连接到限定在致动器的顶部表面中的第三沟槽，其中，第三沟槽具有圆形形状。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的打印头，其中，所述沟槽的宽度为0.1微米至10微米。

14.根据权利要求1至3中任一项所述的打印头，其中，所述沟槽从致动器的顶部表面延伸穿过致动器的厚度到达支撑结构的可变形部分的顶部表面。

15.根据权利要求2至3中任一项所述的打印头，其中，所述沟槽与可变形部分的周边的至少一部分重叠。

16.根据权利要求1至3中任一项所述的打印头，其中，所述沟槽是限定第一环的至少一部分的第一沟槽，并且其中，第二沟槽形成在致动器的顶部表面中，第二沟槽限定与第一环分离的第二环的至少一部分。

17.根据权利要求1至3中任一项所述的打印头，其中，所述沟槽是第一沟槽，并且其中，第二沟槽形成在致动器的顶部表面中，第一沟槽和第二沟槽从致动器的顶部表面的中央区域径向向外延伸并且彼此平行。