[发明专利]电阻率值调整装置和电阻率值调整方法

权利要求书

1.一种电阻率值调整装置，其中，

该电阻率值调整装置包括：

气体溶解装置，其用于将用于调整超纯水的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的所述超纯水，而生成在所述超纯水溶解有所述调整气体的处理液体；以及

缓冲罐，其被供给从所述气体溶解装置排出的所述处理液体，

所述气体溶解装置包括：

中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给所述超纯水的液相侧区域和被供给所述调整气体的气相侧区域，并使透过了所述中空纤维膜的所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而生成调整气体饱和液体；

液体供给管，其用于供给所述超纯水；

组件供给管，其经由将所述液体供给管分支的分支部而与所述液体供给管连通，并用于向所述中空纤维膜组件供给所述超纯水；

组件排出管，其供所述调整气体饱和液体从所述中空纤维膜组件排出；

旁通管，其经由所述分支部而与所述液体供给管连通，并用于绕过所述中空纤维膜组件；以及

液体排出管，其经由使所述组件排出管和所述旁通管合流的合流部而与所述组件排出管以及所述旁通管连通。

2.一种电阻率值调整装置，其中，

该电阻率值调整装置包括：

气体溶解装置，其用于将用于调整超纯水的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的所述超纯水，而生成在所述超纯水溶解有所述调整气体的处理液体；

缓冲罐，其被供给从所述气体溶解装置排出的所述处理液体；

第一调整用配管，其用于将所述超纯水向所述缓冲罐供给；

第二调整用配管，其用于将使所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而成的调整气体饱和液体向所述缓冲罐供给；以及

电阻率值传感器，其用于测量所述缓冲罐内的所述处理液的电阻率值。

3.根据权利要求2所述的电阻率值调整装置，其中，

所述气体溶解装置包括：

中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给所述超纯水的液相侧区域和被供给所述调整气体的气相侧区域，并使透过了所述中空纤维膜的所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而生成所述调整气体饱和液体；

液体供给管，其用于供给所述超纯水；

组件供给管，其经由将所述液体供给管分支的分支部而与所述液体供给管连通，并用于向所述中空纤维膜组件供给所述超纯水；

组件排出管，其供所述调整气体饱和液体从所述中空纤维膜组件排出；

旁通管，其经由所述分支部而与所述液体供给管连通，并用于绕过所述中空纤维膜组件；以及

液体排出管，其经由使所述组件排出管和所述旁通管合流的合流部而与所述组件排出管以及所述旁通管连通。

4.根据权利要求3所述的电阻率值调整装置，其中，

所述第一调整用配管连接于所述液体供给管或所述旁通管，

所述第二调整用配管连接于所述组件排出管。

5.根据权利要求1所述的电阻率值调整装置，其中，

所述缓冲罐是圆筒状的容器。

6.根据权利要求1或2所述的电阻率值调整装置，其中，

所述缓冲罐具有用于供给所述处理液体的供给口和用于排出所述处理液体的排出口，

所述供给口和所述排出口朝向互不相同的线。

7.根据权利要求6所述的电阻率值调整装置，其中，

所述供给口和所述排出口朝向自所述缓冲罐的沿上下方向延伸的中心轴线偏离的位置。

8.根据权利要求6所述的电阻率值调整装置，其中，

所述供给口和所述排出口配置于所述缓冲罐的上下方向上不同的位置。

9.根据权利要求8所述的电阻率值调整装置，其中，

所述排出口配置于比所述供给口靠上方的位置。

10.根据权利要求8所述的电阻率值调整装置，其中，

所述供给口形成于所述缓冲罐的上部。