[发明专利]接触式探针、电连接夹具及Ni管

说明书

本发明提供一种接触式探针，其降低了在高温环境下进行探测后的收缩量而改善了耐久性。本发明也提供一种电连接夹具及Ni管。接触式探针1包括具有线圈状弹簧结构11a的Ni管11。Ni管11含有0.5重量％～10重量％的P。

所述申请是以2016年12月16日提出申请的日本专利申请特愿2016-244683为基础的，所述内容包含于本申请中。

技术领域

本发明涉及一种接触式探针、电连接夹具及Ni管。

背景技术

在各个技术领域中会进行通电检查。作为进行通电检查者，例如有半导体集成电路、平板显示器(flat panel display)等电子元件(device)基板、电路配线基板等。所述检查是使用具备多个接触式探针(contact probe)的检查装置，使接触式探针接触至检体的电极来进行。检体的小型化、高密度化、高性能化的推进中，对于接触式探针也要求微细化。

日本专利第4572303号公报中，公开有一种通电检查夹具用接触件的制造方法。所述制造方法是在芯材的外周通过镀敷而形成镀金层之后，在所形成的镀金层的外周通过电铸而形成Ni电铸层。进而，在Ni电铸层的一部分，利用借助光刻(photolithography)的图案化(patterning)而形成弹簧(spring)结构。随后，保持使镀金层残留于Ni电铸层的内周的状态而仅去除芯材。根据所述制造方法，可精度更高、更精密地制造具备电铸制弹簧结构的极细且薄壁的通电检查夹具用接触件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4572303号公报

发明内容

所述通电检查有时会在120℃以上的高温环境下进行。本发明人等明确了，在具有弹簧结构的接触式探针中存在下述问题，即：若在高温环境下进行探测(probing)，则弹簧的全长会收缩至无法容许的程度。其是指：若具有弹簧结构的部分(弹簧部)在高温环境下使用，则当弹簧部从收缩状态解放时，不恢复至原本的弹簧形状，而弹簧长度变短。

本发明的目的在于提供一种接触式探针，即使在高温环境下进行探测的情况下，也可降低探测后的收缩量而改善耐久性。

依据本发明的一实施方式的接触式探针包括具有线圈状弹簧结构的Ni管(pipe)。所述Ni管含有0.5重量％～10重量％的P。

依据本发明的一实施方式的接触式探针优选的是，Ni管的P含有率为1重量％～5重量％。

依据本发明的一实施方式的接触式探针进而优选的是，Ni管的P含有率为2重量％～4重量％。

依据本发明的一实施方式的接触式探针也可还包括连接于Ni管的柱塞(plunger)。

依据本发明的一实施方式的电连接夹具优选的是，包括所述接触式探针中的任一个。

附图说明

图1是利用本发明的一实施方式的接触式探针的侧面图。

图2是表示Ni管的制造方法的一例的流程图。

图3A是用于说明Ni管的制造方法的图。

图3B是用于说明Ni管的制造方法的图。

图3C是用于说明Ni管的制造方法的图。

图3D是用于说明Ni管的制造方法的图。

图4是利用变形例的接触式探针的侧面图。

图5是高温环境下的耐久性评价测试中所用的夹具(壳体)的立体图。

图6是示意性地表示测试中的状态的图。

图7A是沿着图6的VII-VII线的剖面图。