[发明专利]具有桥结构的多参数传感器

权利要求书

1.一种用于检测和/或分析气体的传感器，所述传感器包括：

基板(1)；

凹陷或开口(2)，布置在基板(1)中；

第一桥结构(3a)和第二桥结构(3b)，在所述凹陷或开口(2)上方延伸并锚定在基板(1)中；

其中

所述第一桥结构(3a)形成第一加热板(6a)，并且包括

感测材料的，特别是金属氧化物材料的第一贴片(8a)，布置在第一加热板(6a)上；

电极(30，31)，适于测量第一贴片的电特性；

加热器(20)，适于加热第一加热板(6a)；

所述第二桥结构(3b)包括至少温度传感器(34)；

传感器包括用于驱动加热器和用于处理来自电极(30，31)和温度传感器(34)的信号的电路系统(4a，4b)；并且

所述传感器提供：

第一操作模式，被配置为执行对第一贴片(8a)的电特性的测量；以及

第二操作模式，被配置为以感测模式操作第二桥结构(3b)，以执行对气体的热特性的测量，其中所述热特性是气体的热容量和/或热导率和/或热扩散率。

2.如权利要求1所述的传感器，其中所述第二操作模式被配置为以加热模式操作第一加热板(6a)，以加热气体。

3.如权利要求1或权利要求2所述的传感器，其中所述第二操作模式被配置为

以加热模式操作第一加热板(6a)和/或第三桥结构(3c)的加热板，以加热气体；以及

以感测模式操作第二桥结构(3b)，以测量由于第一加热板和/或第三桥结构的加热板的加热而引起的温度改变或一个或多个温度参数，并且根据所述温度改变和/或所述温度参数来确定气体的热特性。

4.如前述权利要求中任一项所述的传感器，其中所述第二桥结构(3b)形成第二加热板(6b)，并且包括

感测材料的，特别是金属氧化物材料的第二贴片(8b)，布置在第二加热板(6b)上；

电极(30，31)，适于测量第二贴片(8b)的电特性；

加热器(20)，适于加热第二加热板(6b)；

其中所述第一操作模式被配置为执行对第一贴片(8a)和第二贴片(8b)的电特性的测量。

5.如前述权利要求中任一项所述的传感器，其中所述传感器包括第三桥结构，所述第三桥结构包括加热板和加热器，并且其中所述第二操作模式被配置为在加热模式下操作第三桥结构的加热板(6c)，以加热气体。

6.如前述权利要求中任一项所述的传感器，其中所述传感器能够操作以在第二操作模式下执行对气体的热容量和/或热导率和/或热扩散率的测量。

7.如前述权利要求中任一项所述的传感器，其中所述传感器被配置为组合来自第一操作模式和第二操作模式的测量结果，以确定气体的气体成分和/或气体浓度。

8.如前述权利要求中任一项所述的传感器，其中所述传感器能够操作以使用第二操作模式的测量结果来确定气体的压力。

9.如前述权利要求中任一项所述的传感器，其中所述传感器被配置为在第一操作模式下执行第一加热板(6a)和/或第二加热板(6b)和/或第三桥结构(3c)的加热板(6c)的连续或脉冲加热。

10.如前述权利要求中任一项所述的传感器，其中所述传感器被配置为在第二操作模式下执行

第一加热板(6a)和/或第三桥结构(3c)的加热板(6c)的连续加热；以及

对响应于第一加热板(6a)的加热和/或第三桥结构(3c)的加热板(6c)的加热的第二桥结构(6b)的温度改变的测量。