[发明专利]测试系统

说明书

本发明涉及测试系统。测试系统是实施被试验设备的电特性试验的测试系统，具备：载置被试验设备的载置台；搬送载置台的搬送机构；包含用于进行电特性试验的测定电路的测试头；用于使被试验设备的电极与测定电路连接的探测器；使载置台沿着第一方向移动，由此使电极与探测器接触或者分离的升降机构；以及被设置于测试头，在与第一方向交叉的平面上移动探测器，由此进行探测器与电极在平面中的对位的对准机构。

技术领域

本发明涉及测试系统。

背景技术

公知有进行功率半导体等设备的检查的测试系统。例如专利文献1记载了具备保持设备的卡盘工作台、和将测试仪的端子与设备的电极连接的探测器的探测系统。在该探测系统中，卡盘工作台能够沿3轴向移动并且能够绕Z轴旋转，探测器被固定于测试仪固定台。在使用该卡盘工作台进行设备的检查的情况下，对被卡盘工作台保持的设备进行拍摄，以设备的电极与探测器的前端位置一致的方式，使卡盘工作台旋转，在沿X轴以及Y轴方向移动后，沿Z轴方向上升而使探测器与电极接触。

专利文献1：日本特开2006-317346号公报

然而，卡盘工作台具有3轴移动机构以及旋转机构，所以卡盘工作台的重量较大。因此，存在使卡盘工作台向装载位置、检查位置以及卸载位置移动所需的时间，以及在检查位置使卡盘工作台升降所需的时间变长，检查效率降低的顾虑。与此相对，考虑将3轴移动机构以及旋转机构设置于探测器的构成。在该构成中，需要使连接探测器与测定电路的配线长到探测器能够移动的程度。因此，存在配线的电感分量增加，测定精度降低的顾虑。

在本技术领域中，期望缩短搬送时间而不降低测定精度。

发明内容

本发明的一形态的测试系统是实施被试验设备的电特性试验的测试系统。该测试系统具备：载置台，载置被试验设备；搬送机构，搬送载置台；测试头，包含用于进行电特性试验的测定电路；探测器，用于将被试验设备的电极连接于测定电路；升降机构，使载置台沿着第一方向移动，由此使电极与探测器接触或者分离；以及对准机构，被设置于测试头，在与第一方向交叉的平面上移动探测器，由此进行探测器与电极在平面中的对位。

根据该测试系统，探测器在与第一方向交叉的平面上移动，从而使探测器的位置与被试验设备的电极的位置对准。而且，利用升降机构，载置了被试验设备的载置台被沿着第一方向移动，被试验设备的电极与探测器接触。由此，能够通过测定电路进行被试验设备的电特性试验。另外，使载置台沿着第一方向移动，从而被试验设备的电极从探测器分离。这样，没有在载置被试验设备的载置台设置用于电极与探测器的对位的移动机构以及旋转机构，所以与将3轴移动机构以及旋转机构设置于载置台的构成比较，能够使载置台的重量轻量化。由此，能够缩短搬送时间。另外，为了使被试验设备的电极与探测器接触或者分离，载置台沿着第一方向移动，探测器不沿着第一方向移动。因此，在测试系统的动作中，探测器与测定电路在第一方向上的距离的变化被抑制，所以不需要使将探测器与测定电路电连接的配线的长度过长。由此，与将3轴移动机构以及旋转机构设置于探测器的构成比较，能够减少配线的电感分量。其结果是，能够缩短搬送时间而不降低测定精度。

在一实施方式中，搬送机构也可以按照用于将被试验设备载置于载置台的第一工作站、用于实施电特性试验的第二工作站、以及用于将被试验设备从载置台搬出的第三工作站的顺序搬送载置台。在该情况下，通过使用三个载置台，能够并行地进行被试验设备的载置、电特性试验的实施以及被试验设备的搬出。

一实施方式的测试系统也可以在第一工作站中还具备，对被载置于载置台的被试验设备进行拍摄的第一拍摄装置。对准机构也可以基于由第一拍摄装置拍摄到的被试验设备的图像来进行对位。在该情况下，被试验设备的图像的获取在第一工作站进行，电特性试验在第二工作站进行。即基于第一工作站中的被试验设备的图像，在第二工作站中进行探测器的对位。因此，在第一工作站以及第二工作站中，要求使载置台高精度地停止。如上述那样，载置台被轻量化，所以作用于载置台的惯性力被减少。因此，能够缩短载置台的停止所需的时间，所以能够缩短载置台的搬送时间。