[发明专利]法兰连接部的平面密封件用的安装设备

说明书

本发明涉及一种法兰连接部的平面密封件（3）用的安装设备，其中法兰连接部包括第一法兰（4）、第二法兰（8）和布置在法兰之间的平面密封件，其中安装设备具有针对两个法兰之间的中间空间的至少一个夹爪（13），夹爪在端部上朝凸鼻（9）变细，用于固持平面密封件。用于法兰连接部的安装方法是公开的。

技术领域

本发明涉及法兰连接部的平面密封件用的安装设备。

背景技术

CF法兰在ISO 3669中、在额定宽度DN 16至DN 250中并且更详细地在ISO/TS3669-2中、在额定宽度DN 10至DN 400中被描述。

CF法兰此外基于Varian公司的CONFLAT法兰。CF法兰用于连接超高真空（UHV）构件，法兰本身由不锈钢构成，密封材料大多是铜。

CF连接由两个具有切割棱边、金属平面密封件和足够数量的螺钉的对称法兰构成，金属平面密封件在CF法兰的平整的车槽或车削部或槽中定心，螺钉提供必需的高的挤压力。除了分别围绕孔位置取向的固定法兰以外，还存在可转动的环状法兰，从而法兰可围绕其主轴线任意取向。

为了产生超高真空（UHV），对物质和连接提出附加的条件。在UHV技术中，为此建立CF标准ISO/TS 3669-2:2007。CF法兰由不锈钢圆片坯件在CNC车床上制成。法兰通常是两件式的，并且由具有密封面的内部分和具有螺钉孔的外部分构成。法兰在真空侧具有用于容纳密封件的槽和作为密封面的切割棱边。由于在UHV技术中需要的很小的泄漏率和高的可加热性，通过由无氧铜（OFHC）构成的平面密封件对CF法兰进行密封。平面密封件基于通过切割棱边的塑性变形通常仅使用一次。挤压力在此例如通过螺钉产生，其在没有翘曲（Verzug）的情况下被拧紧。

在安装时，法兰的切割棱边被压到被包围的密封盘中，并且使密封盘变形。在外切割侧面上发生所谓的冲挤，在内切割侧面上同时发生切割过程。冷冲挤通过外部的竖直的法兰壁限界，从而在边界层中形成非常高的压力。在高的压力下，铜适应于切割侧面的微结构，并且填充较小的表面缺陷，由此建立金属的、超高真空密封的连接。

QCF部件和附属的夹紧链VaCFix®是VACOM的产品研发。其具有锥形的拧紧面，并且使ConFlat®法兰（根据ISO/TS 3669-2的切割棱边）的密封原理与通过所谓的链锁实现的简单安装相协调。QCF部件可以更快速、更简单和同时更节约空间地安装，并且借助适配器通常可以与所有存在的真空设施连接。CF-QCF适配器能够使用户在已经存在的UHV设施上使用QCF连接技术，并且因此灵活地以及与供应商无关地工作。QCF技术的优点是安装时间缩短了直至75%。

（Q）CF法兰连接部具有＜1.0E-11mbar l/s的很小的泄漏率，并且是可加热的。CF法兰可在DN 10至DN 400的尺寸中得到，QCF法兰在DN 16至DN 100的尺寸中得到。

由不同的供应商可得到不同的套件和法兰连接部。针对CF法兰销售具有和不具有管附件的固定的或可转动的法兰连接部、减压阀、T形件和十字件和许多另外的部件。

虽然（Q）CF法兰连接部具有提到的优点，但其在实践中还是具有一些严重的缺点。因此，在困难的安装位置和空间关系的情况下，首先用手或用临时准备的辅助器件、例如利用螺丝刀、板材、胶带等导致的是，首先将密封件在两个法兰之间引入正确的位置中，即槽中，并且也固持在那里。

在这种困难的和狭小的安装位置的情况下、例如在相对地面布置的密封面的垂直布置的情况下，并且同时在狭小的空间关系的情况下不利地，密封件经常从槽中掉落，并且向下掉到地面上，或者其没有精准地保留在槽上的或槽中的为此设置的空间处。由于损坏或受污染，或由于错误切割的表面，密封件大多不能够再使用一次，或者甚至在数小时之久的泵吸后，以该方式制造的法兰连接部不具有必需的低的泄漏率。