[发明专利]坐标定位设备以及操作方法有效
申请号: | 201780071131.0 | 申请日: | 2017-11-09 |
公开(公告)号: | CN109964098B | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 马丁·西蒙·里斯;托比·约翰·迈因;詹姆斯·阿尔希·沙巴尼 | 申请(专利权)人: | 瑞尼斯豪公司 |
主分类号: | G01B21/04 | 分类号: | G01B21/04;G01B5/008;G05B19/401 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
地址: | 英国格*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坐标 定位 设备 以及 操作方法 | ||
1.一种对接触式模拟探针进行校准的方法,所述接触式模拟探针具有可偏转触针并且被配置用于提供至少一个指示所述触针的偏转程度的信号,所述接触式模拟探针安装在坐标定位机上,所述坐标定位机有助于所述接触式模拟探针围绕至少一个轴线重新取向,其中所述坐标定位机包括铰接式头部,所述接触式模拟探针安装在所述铰接式头部上,所述铰接式头部提供所述接触式模拟探针可以围绕其重新取向的所述至少一个轴线,所述方法包括:
取得测量数据,所述测量数据是利用围绕所述铰接式头部的至少一个轴线定位在多个不同取向上的接触式模拟探针获得的;以及
根据所述测量数据确定至少一个增益变化模型,所述增益变化模型对所述至少一个探针信号的增益的任何表观变化进行建模,所述增益的任何表观变化取决于所述接触式模拟探针围绕所述铰接式头部的至少一个轴线的取向,
其中所述至少一个探针信号的所述增益对所述至少一个探针信号如何随所述探针偏转而变化进行量化。
2.如权利要求1所述的方法,其中所述测量数据是在围绕所述铰接式头部的至少一个轴线的至少一个取向的多个不同的触针偏转下获得的。
3.如权利要求2所述的方法,其中对于多个所述不同取向,测量数据是在多个不同的触针偏转下获得的。
4.如任一前述权利要求所述的方法,其中所述接触式模拟探针被配置用于提供至少第一探针信号和第二探针信号,并且其中所述至少一个增益变化模型对所述至少第一探针信号和第二探针信号的增益的任何表观变化进行建模,所述增益的任何表观变化取决于所述接触式模拟探针围绕所述铰接式头部的至少一个轴线的取向。
5.如任一前述权利要求所述的方法,其中所述坐标定位机有助于所述接触式模拟探针围绕所述铰接式头部的至少两个轴线重新取向,并且其中所述方法包括:
取得测量数据,所述测量数据是利用围绕所述铰接式头部的至少两个轴线定位在多个不同取向的所述接触式模拟探针获得的;以及
根据所述测量数据确定至少一个增益变化模型,所述增益变化模型对所述至少一个探针信号的增益的任何表观变化进行建模,所述增益的任何表观变化取决于所述接触式模拟探针围绕所述铰接式头部的至少两个轴线的取向。
6.如任一前述权利要求所述的方法,其中所述测量数据包括在围绕所述铰接式头部的至少一个轴线的第一取向上获得的第一组测量数据、以及在围绕所述铰接式头部的至少一个轴线的第二取向上获得的至少一个第二组测量数据,其中所述至少一个第二组测量数据不如所述第一组测量数据全面。
7.如权利要求6所述的方法,包括至少使用至少一个所述第二组测量数据来确定所述一个或多个探针信号的增益如何取决于所述接触式模拟探针围绕所述铰接式头部的至少一个轴线的取向而呈现变化。
8.如任一前述权利要求所述的方法,进一步包括确定与取向无关的探针信号转换模型。
9.如权利要求8所述的方法,其中所述至少一个增益变化模型被配置用于对使用与取向无关的探针信号转换模型所做的转换进行校正。
10.如任一前述权利要求所述的方法,包括随后使用所述接触式模拟探针来测量人工制品,并且使用所述至少一个增益变化模型来将所述探针的至少一个探针信号转换成空间测量值。
11.如任一前述权利要求所述的方法,其中所述坐标定位机的所述铰接式头部包括提供所述至少一个轴线的连续扫描式铰接式头部,并且其中所述铰接式头部安装在有助于所述头部的平移运动的运动结构上。
12.如任一前述权利要求所述的方法,其中所述至少一个增益变化模型包括至少一个矩阵、至少一个函数和/或至少一个查找表。
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