[发明专利]用于部件或器件的空气支承平台的设备、系统和方法

权利要求书

1.一种对准系统，用于提供至少一个部件相对于辅助参考平面的至少平面对准，对准系统包括：

框架和定子组件，框架和定子组件的上部具有至少一个半球形接收界面；

可移动组件，可移动组件能够在所述框架和定子组件内移动，并且通过多个弹簧与所述框架和定子组件连接地相关联，可移动组件包括：

浮动轭部分，浮动轭部分至少与触觉部分和多个线性运动止动件相关联，触觉部分与所述多个线性运动止动件物理地相互作用，所述触觉部分适于相对于第二参考平面评估所述部件的最顶部分的平面；

半球形平台，半球形平台适于通过所述半球形接收界面接收并且至少能够在半球形接收界面中进行旋转运动；

卡盘，卡盘位于所述半球形平台内，并且卡盘能够相对于由所述半球形平台的最顶部提供的平面至少共面，其中所述卡盘能够接收所述部件；和

至少两个夹持爪，至少两个夹持爪适于在夹持爪上部接收和保持所述部件，其中所述两个夹持爪至少包括位于夹持爪下部的斜坡，斜坡能够与运动止动件物理相互作用；

其中所述可移动组件允许将由所述部件的最顶部提供的平面放置在相对于所述第二参考平面的合适位置，以便允许处理所述部件以及提供所述第二参考平面的第二电子元件。

2.根据权利要求1所述的系统，还包括：

适于增强所述浮动轭部分的浮动的空气入口；和

与所述卡盘相关联并适用于抓握所述元件的真空。

3.一种提供至少一个部件相对于辅助参考平面的至少平面对准的方法，所述方法包括：

使用至少具有与同步夹持爪相关联的斜坡的同步夹持爪以及通过所述斜坡与一个或多个运动限制器的相互作用来使空气支承平台居中；

在多个轴上移动所述空气支承平台；

将所述部件提供给居中并移动的空气支承平台；

关闭影响所述部件的气浮；

启动真空以抓持所述部件；

关闭所述部件上的夹持爪；

延伸触觉系统以评估所述部件与所述辅助参考平面的平面对准；

打开所述气浮以影响所述部件；

至少基于所述触觉系统的延伸结果，将所述部件接合到具有所述辅助参考平面的元件上。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述部件的所述提供包括通过手动切换工具来提供。