[发明专利]粘合层形成用组合物和生产制品的方法

说明书

使基板与光固化性组合物粘附的粘合层形成用组合物，其至少含有：固化性基材(A)，其含有至少一个与基底结合的官能团和至少一个自由基聚合性官能团；阻聚剂(B)；和有机溶剂(C)，基于100重量份的固化性基材(A)，该粘合层形成用组合物具有0.1重量份‑10重量份的阻聚剂(B)含量。

技术领域

本发明涉及粘合层形成用组合物和生产制品的方法。

背景技术

作为生产具有微结构的制品例如半导体器件和微机电系统(MEMS)的技术，光压印技术已受到关注。通过这样的光压印技术形成图案的方法可包括安置步骤、接触步骤、固化步骤和分离步骤(脱模步骤)。在安置步骤中，将光固化性组合物安置在基底上的图案形成区域中。在接触步骤中，使用包括图案的模具将光固化性组合物成形。在固化步骤中，通过用光照射光固化性组合物来使光固化性组合物固化以形成固化物。在分离步骤中，将模具从光固化性组合物的固化物分离。由此，在基底上设置具有从模具转印的图案的固化物。

在采用光压印技术形成图案的方法中，光固化性组合物与基底之间的粘合性是重要的。这是因为，如果光固化性组合物与基底之间的粘合性低，则在分离步骤中将模具从光固化性组合物的固化物分离时固化物的一部分从基底剥离，由此导致图案的缺失部分。

目前为止，作为用于改善光固化性组合物与基底之间的粘合性的技术，已报道了形成粘合层的技术，粘合层位于光固化性组合物与基底之间并且使光固化性组合物粘附于基底(PTL1和2)。

引用列表

专利文献

PTL 1:日本专利No.5084728

PTL 2:日本专利公开No.2016-28419

发明内容

技术问题

如果在设置粘合层的基板上存在颗粒，由于起因于这些颗粒的不充分的填充和不均匀的厚度，采用压印技术形成的图案可能具有缺陷。没有充分地将光固化性组合物填充到模具的图案中包括的凹部时通过使光固化性组合物固化可能引起起因于不充分填充的缺陷。不均匀的厚度是指光固化性组合物的固化物的厚度的不均匀性并且可能例如由模具的变形或者由于颗粒的存在而导致的基底与模具的不平行而引起。如果基板上的颗粒粘附于模具，则可能使模具的形状永久地变形，或者可能使模具破损。

在基底上形成粘合层的情况下，形成为粘合层的组分能够在用于形成粘合层的粘合层溶液(粘合层组合物)中自发地经历聚合反应，由此可能形成颗粒。

本发明提供粘合层组合物，其有利地减少由自发聚合反应引起的颗粒的形成。

问题的解决方案

本发明的一个方面提供使基板与光固化性组合物粘附的粘合层形成用组合物，该粘合层形成用组合物至少包括：含有至少一个与基底结合的官能团和至少一个自由基聚合性官能团的固化性基材(A)、阻聚剂(B)和有机溶剂(C)，该粘合层形成用组合物具有0.1重量份-10重量份的阻聚剂(B)含量，基于100重量份的固化性基材(A)。

本发明的有利效果

根据本发明，提供粘合层组合物，其有利地减少由自发聚合反应引起的颗粒的形成。

附图说明

图1表示固化性基材(A)。

图2表示固化性基材(A)。

图3A表示形成图案的方法或生产制品的方法。

图3B表示形成图案的方法或生产制品的方法。

图3C表示形成图案的方法或生产制品的方法。

图3D表示形成图案的方法或生产制品的方法。