[发明专利]超低温制冷机及超低温制冷机的控制装置

权利要求书

1.一种超低温制冷机，其具备冷头及阀单元，所述超低温制冷机的特征在于，

所述阀单元具备能够将所述冷头内的工作气体压力周期性地切换成第1高压与比所述第1高压更低的第2高压的回转阀及使所述回转阀旋转的阀马达，所述回转阀具有将所述第2高压的工作气体密封于所述冷头的旋转角度范围，

所述超低温制冷机具备：

制冷机控制部，控制所述阀马达；

制冷机停止指示部，向所述制冷机控制部输出制冷机停止指示信号；及

阀停止时刻控制部，根据所述制冷机停止指示信号控制所述阀马达，以使所述回转阀在所述旋转角度范围内停止。

2.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

还具备旋转角度传感器，其测定所述回转阀的旋转角度，

所述阀停止时刻控制部根据由所述旋转角度传感器测定的旋转角度来确定所述阀马达的停止时刻以使所述回转阀在所述旋转角度范围内停止。

3.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

还具备压力传感器，其测定工作气体的压力，

所述阀停止时刻控制部根据由所述压力传感器测定的压力来确定所述阀马达的停止时刻以使所述回转阀在所述旋转角度范围内停止。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述阀停止时刻控制部构成为，能够安装于所述阀马达与所述制冷机控制部之间或者能够从所述阀马达与所述制冷机控制部之间卸下。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述阀停止时刻控制部设置于所述制冷机控制部。

6.一种超低温制冷机的控制装置，其特征在于，

所述超低温制冷机具备：

冷头；

阀单元，其具备能够将所述冷头内的工作气体压力周期性地切换成第1高压与比所述第1高压更低的第2高压的回转阀及使所述回转阀旋转的阀马达，所述回转阀具有将所述第2高压的工作气体密封于所述冷头的旋转角度范围；

制冷机控制部，控制所述阀马达；及

制冷机停止指示部，向所述制冷机控制部输出制冷机停止指示信号，

所述控制装置具备阀停止时刻控制部，其根据所述制冷机停止指示信号控制所述阀马达，以使所述回转阀在所述旋转角度范围内停止，

所述阀停止时刻控制部构成为，能够安装于所述阀马达与所述制冷机控制部之间或者能够从所述阀马达与所述制冷机控制部之间卸下。