[发明专利]水处理方法及装置

权利要求书

1.一种水处理方法，其为对被处理水中所含有的有机物进行分解处理的水处理方法，包括：

脱氧阶段，降低所述被处理水的溶解氧浓度；

过氧化氢添加阶段，向所述被处理水添加过氧化氢；

紫外线照射阶段，对溶解氧浓度降低且添加了过氧化氢的被处理水照射紫外线；以及

过氧化氢分解阶段，将在所述紫外线照射阶段被照射了紫外线的所述被处理水中含有的过氧化氢进行分解，

所述脱氧阶段的出口水的溶解氧浓度为0.05mg/L以上且1mg/L以下。

2.根据权利要求1所述的水处理方法，其中，

在所述紫外线照射阶段中，照射包含185nm以下的波长的紫外线。

3.根据权利要求1或2所述的水处理方法，其中，

所述水处理方法在所述过氧化氢添加阶段之前，还具有通过反渗透处理减少所述被处理水中所含有的有机物的阶段。

4.根据权利要求3所述的水处理方法，其中，

在所述反渗透处理中使用的反渗透膜的每1MPa有效压力的渗透通量为0.5m³/m²/d以下。

5.根据权利要求1或2所述的水处理方法，其中，

进行基于所述水处理方法的处理之前的所述被处理水的总有机碳浓度为0.1mg/L以上，溶解氧浓度超过1mg/L。

6.根据权利要求1或2所述的水处理方法，其中，

在所述过氧化氢分解阶段中使用钯催化剂对过氧化氢进行分解。

7.根据权利要求1或2所述的水处理方法，其中，

所述水处理方法具有去除所述过氧化氢分解阶段的出口水中含有的离子性物质的阴离子交换阶段。

8.根据权利要求1或2所述的水处理方法，其中，

所述被处理水源自工序排水，所述工序排水是从使用超纯水的工序排出的水，通过所述水处理方法处理后的水作为用于生成在所述工序中使用的超纯水的原水来使用。

9.根据权利要求1所述的水处理方法，其中，

按照所述脱氧阶段、所述过氧化氢添加阶段以及所述紫外线照射阶段的顺序依次执行。

10.一种水处理装置，其对被处理水中所含有的有机物进行分解处理，所述水处理装置具有：

脱氧装置，其降低所述被处理水的溶解氧浓度；

过氧化氢添加装置，其向所述被处理水添加过氧化氢；

紫外线照射装置，其对溶解氧浓度降低且添加了过氧化氢的所述被处理水照射紫外线；以及

过氧化氢分解装置，其将在所述紫外线照射装置中被照射了紫外线的所述被处理水中含有的过氧化氢进行分解，

所述脱氧装置的出口水的溶解氧浓度为0.05mg/L以上且1mg/L以下。

11.根据权利要求10所述的水处理装置，其中，

所述紫外线照射装置是照射包含185nm以下的波长的紫外线的紫外线氧化装置。

12.根据权利要求10或11所述的水处理装置，其中，

在所述过氧化氢添加装置的入口侧具备反渗透装置，该反渗透装置具有反渗透膜，减少所述被处理水中所含有的有机物。

13.根据权利要求12所述的水处理装置，其中，

所述反渗透膜的每1MPa有效压力的渗透通量为0.5m³/m²/d以下。

14.根据权利要求10或11所述的水处理装置，其中，

供给至所述水处理装置的所述被处理水的总有机碳浓度为0.1mg/L以上，溶解氧浓度超过1mg/L。